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文献类型

  • 1 篇 期刊文献

馆藏范围

  • 1 篇 电子文献
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日期分布

学科分类号

  • 1 篇 理学
    • 1 篇 物理学

主题

  • 1 篇 偏压
  • 1 篇 pecvd
  • 1 篇 薄膜沉积技术
  • 1 篇 ecr
  • 1 篇 电子回旋共振等离...
  • 1 篇 chf3放电等离子体...
  • 1 篇 栅网

机构

  • 1 篇 苏州大学

作者

  • 1 篇 程珊华
  • 1 篇 宁兆元
  • 1 篇 叶超
  • 1 篇 杜伟

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=CHF3放电等离子体特性"
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栅网与偏压对chf_3电子回旋共振放电等离子体特性的影响
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引用
物理学报 2003年 第7期52卷 1802-1807页
作者： 叶超 杜伟 宁兆元 程珊华 苏州大学物理系 苏州215006
研究了电子回旋共振等离子体增强化学气相沉积系统中栅网的增加和栅网上施加 +6 0V和 - 6 0V偏压对chf3放电等离子体特性的影响 .发现在低微波功率下栅网与偏压对等离子体中基团分布的影响较大 ,而高微波功率下的影响逐渐减小 .这是由... 详细信息
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