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文献类型

  • 2 篇 期刊文献

馆藏范围

  • 2 篇 电子文献
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日期分布

学科分类号

  • 2 篇 工学
    • 1 篇 材料科学与工程（可...
    • 1 篇 电子科学与技术（可...
    • 1 篇 化学工程与技术

主题

  • 2 篇 cfz法
  • 1 篇 二氧化碳
  • 1 篇 半导体
  • 1 篇 硅单晶
  • 1 篇 掺杂
  • 1 篇 甲烷

机构

  • 1 篇 电子部第四十六研...
  • 1 篇 天津市半导体材料...

作者

  • 1 篇 林键
  • 1 篇 沈浩平
  • 1 篇 李翔
  • 1 篇 昝兴利
  • 1 篇 朱利凯
  • 1 篇 汪雨田
  • 1 篇 纪秀锋

语言

  • 2 篇 中文
检索条件"主题词=CFZ法"
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甲烷—二氧化碳的分离
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石油与天然气化工 1989年 第1期18卷 60-63页
作者： 朱利凯
可控制的CO_2冻结区法(Controlled Freeze Zone Process,cfz)不用添加其它组分来避免CO_2的凝固,代之以的是,随着蒸馏进程直接通过一个固体CO_2生成区,藉这一方法来获得高纯度的C_1。
来源： 维普期刊数据库 维普期刊数据库 同方期刊数据库 同方期刊数据库 评论
cfz单晶的生产及特点
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引用
半导体杂志 1998年 第3期23卷 24-25页
作者： 沈浩平 李翔 昝兴利 汪雨田 纪秀锋 林键 天津市半导体材料厂 电子部第四十六研究所
本文介绍了一种全新的硅单晶生长方法。通过大量实验对ＣＦＺ法生长技术和特点作了描述，并对ＣＦＺ的应用作了讨论。
来源： 维普期刊数据库 维普期刊数据库 同方期刊数据库 同方期刊数据库 评论
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