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学科分类号

  • 1 篇 工学
    • 1 篇 材料科学与工程（可...

主题

  • 1 篇 晶粒界面态
  • 1 篇 多晶硅
  • 1 篇 薄膜
  • 1 篇 c^2dlts法

机构

  • 1 篇 复旦大学
  • 1 篇 日本庆应义塾大学

作者

  • 1 篇 桑野博
  • 1 篇 舒畅
  • 1 篇 包宗明

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=C^2DLTS法"
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用深能级瞬态谱方法研究多晶硅薄膜的晶粒界面态
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核电子学与探测技术 1991年 第5期11卷 263-270页
作者： 舒畅 包宗明 桑野博 复旦大学 日本庆应义塾大学
本文发展了一个改进的深能级瞬态谱方法——c^2dlts方法,并将该方法应用于硅离于注入再结晶法处理的多晶硅薄膜的晶粒界面态的研究。实验结果表明:多晶硅薄膜的晶粒界面态和硅离子注入后多晶硅薄膜的晶粒组成结构是密切相关的。
来源： 维普期刊数据库 维普期刊数据库 同方期刊数据库 同方期刊数据库 评论
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