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文献类型

  • 3 篇 期刊文献

馆藏范围

  • 3 篇 电子文献
  • 0 种 纸本馆藏

日期分布

学科分类号

  • 3 篇 工学
    • 3 篇 材料科学与工程(可...
    • 1 篇 电子科学与技术(可...
  • 2 篇 理学
    • 2 篇 物理学

主题

  • 3 篇 au/nicr/ta
  • 2 篇 多层金属膜
  • 2 篇 表面粗糙度
  • 1 篇 表面能
  • 1 篇 薄膜
  • 1 篇 扩散
  • 1 篇 退火
  • 1 篇 微波集成电路
  • 1 篇 晶界能
  • 1 篇 纳米压入
  • 1 篇 电阻率
  • 1 篇 硬度

机构

  • 3 篇 西安交通大学
  • 2 篇 西安空间无线电技...
  • 1 篇 电子科技大学

作者

  • 3 篇 徐可为
  • 2 篇 唐武
  • 1 篇 李 弦
  • 1 篇 王 平
  • 1 篇 唐 武
  • 1 篇 李弦
  • 1 篇 邓龙江
  • 1 篇 王平

语言

  • 3 篇 中文
检索条件"主题词=Au/NiCr/Ta"
3 条 记 录,以下是1-10 订阅
排序:
au/nicr/ta多层金属膜退火后的电阻率异常增大
收藏 引用
金属学报 2003年 第2期39卷 172-174页
作者: 唐武 徐可为 王平 李弦 西安交通大学金属材料强度国家重点实验室 西安710049 西安空间无线电技术研究所 西安710000
用磁控溅射疗法在Al2O3基片上沉积au/nicr/ta多层金属膜,通过X射线衍射技术研究退火前后溥膜晶体取向的变化, auger电子能谱分析退火前后薄膜沿深度方向的元素分布,四点探针测试退火前后薄膜表面电阻率.结果表明:退火后111au与200au衍... 详细信息
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au/nicr/ta多层金属膜的表面粗糙度和纳米压入硬度的研究
收藏 引用
金属学报 2002年 第5期38卷 449-452页
作者: 唐 武 徐可为 王 平 李 弦 西安交通大学金属材料强度国家重点实验室 西安710049 西安空间无线电技术研究所 西安710000
采用磁控溅射方法在Si-(111)基片上沉积au/nicr/ta多层金属膜,利用XRD分析晶体取向,SEM观察表面和断面形貌,AFM研究表面粗糙度,纳米压入研究薄膜硬度,结果表明薄膜表面粗糙度依赖于基体沉积温度,并且影响薄膜电阻和纳米硬度。
来源: 维普期刊数据库 维普期刊数据库 同方期刊数据库 同方期刊数据库 评论
au/nicr/ta薄膜生长的表面能和晶界能作用
收藏 引用
稀有金属材料与工程 2007年 第7期36卷 1185-1188页
作者: 唐武 邓龙江 徐可为 电子科技大学 四川成都610054 西安交通大学 陕西西安710049
用原子力显微镜(AFM)研究了Al2O3基体上磁控溅射au/nicr/ta薄膜的表面生长形貌以及表面粗糙度,并根据不同的沉积温度探讨了薄膜表面粗糙化机制,从能量角度分析了薄膜晶粒生长的表面能和晶界能交互作用效果。结果表明:磁控溅射的金属薄... 详细信息
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