咨询与建议
  • 全部检索
  • 电子图书
  • 电子期刊
  • 纸本馆藏
  • 南通市公共图书馆
高级检索

限定检索结果

文献类型

  • 1 篇 期刊文献

馆藏范围

  • 1 篇 电子文献
  • 0 种 纸本馆藏

日期分布

学科分类号

  • 1 篇 工学
    • 1 篇 电子科学与技术（可...

主题

  • 1 篇 微镜
  • 1 篇 平行板静电驱动
  • 1 篇 au/in键合
  • 1 篇 微机电系统

机构

  • 1 篇 中国科学技术大学
  • 1 篇 西安交通大学
  • 1 篇 中国科学院苏州纳...

作者

  • 1 篇 单亚蒙
  • 1 篇 胡钰玮
  • 1 篇 沈文江
  • 1 篇 钱磊
  • 1 篇 王俊铎
  • 1 篇 吴永强

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=Au/In键合"
共 1 条 记 录，以下是1-10 订阅
全选 清除本页 清除全部 题录导出 标记到"检索档案"
详细 简洁
排序：
基于au/in键合的静电扭转微镜的设计与工艺研究
收藏
分享
引用
固体电子学研究与进展 2024年 第3期44卷 252-257页
作者： 王俊铎 胡钰玮 吴永强 单亚蒙 钱磊 沈文江 中国科学技术大学纳米技术与纳米仿生学院 合肥230026 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所纳米器件与应用重点实验室 江苏苏州215123 西安交通大学机械学院 西安710048
采用au/in键合技术并引入凸点层设计,制备了用于光通信领域的二维平行板式静电扭转微镜阵列。相较于其他键合技术,au/in键合实现了低温键合并与硅通孔技术相容。此外,相对于梳齿驱动,采用平行板电容的扭转微镜有助于实现更高的占空比,... 详细信息
来源： 维普期刊数据库 维普期刊数据库 同方期刊数据库 同方期刊数据库 评论
全选 清除本页 清除全部 题录导出 标记到“检索档案”
共1页 <<  < 1 >  >>
回到顶部
执行限定条件