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文献类型

  • 1 篇 期刊文献

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学科分类号

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    • 1 篇 材料科学与工程(可...
    • 1 篇 电气工程
    • 1 篇 电子科学与技术(可...

主题

  • 1 篇 导电复合薄膜
  • 1 篇 al/ag/al
  • 1 篇 热处理
  • 1 篇 电阻率

机构

  • 1 篇 集美大学
  • 1 篇 福州大学

作者

  • 1 篇 杨兰
  • 1 篇 郭太良

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=Al/Ag/Al"
1 条 记 录,以下是1-10 订阅
排序:
应用于FED al/ag/al导电复合薄膜的研究
收藏 引用
功能材料 2011年 第12期42卷 2307-2310页
作者: 杨兰 郭太良 集美大学理学院 福建厦门361021 福州大学物理与信息工程学院 福建福州350002
利用ag的高温抗氧化能力,采用磁控溅射沉积al/ag/al导电复合薄膜,并在480℃下进行热处理。扫描电子显微镜(SEM)和能谱分析(EDS)研究表明磁控溅射的al/ag/al导电复合薄膜表面平整,热处理后表面al膜生成致密的氧化层。溅射沉积和热处理过... 详细信息
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