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air-coupled piezoelectric micromachined ultrasonic transducers for surface stain detection and imaging

Nanotechnology and Precision Engineering 2022年第1期5卷 35-42页

作者： Sheng Sun Jianyuan Wang Yuan Ning Menglun Zhang State Key Laboratory of Precision Measuring Technology and Instruments Tianjin UniversityTianjin 300072China

This paper proposes an air-coupled piezoelectric micromachined ultrasonic transducer(PMUT)for detection and imaging of surface stains.A 508 kHz PMUT array is designed,fabricated,and characterized in terms of its electrical and acoustic properties,and it is used in a pulse echo validation test.imaging of stains on metal blocks is successfully demonstrated.Compared with existing optical methods for stain detection,the proposed approach can work in a dark environment without color requirements.This work provides a new and promising route for the development of miniaturized stain detection systems.

关键词： PMUT Air-coupled imaging Stain detection Time of flight

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