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  • 1 篇 期刊文献

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  • 1 篇 电子文献
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日期分布

学科分类号

  • 1 篇 工学
    • 1 篇 化学工程与技术

主题

  • 1 篇 开关性能
  • 1 篇 agox掩膜
  • 1 篇 光盘
  • 1 篇 磁控反应溅射
  • 1 篇 聚焦激光热效应

机构

  • 1 篇 宁波大学
  • 1 篇 中国科学院上海光...

作者

  • 1 篇 干福熹
  • 1 篇 阮昊
  • 1 篇 张约品
  • 1 篇 沈德芳

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=AgOx掩膜"
1 条 记 录,以下是1-10 订阅
排序:
AgO_x掩膜的制备和性能研究
收藏 引用
功能材料 2003年 第2期34卷 156-157页
作者: 张约品 阮昊 沈德芳 干福熹 中国科学院上海光学精密机械研究所 宁波大学光电子功能材料研究所 浙江宁波315211
磁控反应溅射制备了agox掩膜,用聚焦激光热效应装置测得的光透过特性,分析了agox掩膜的开关性能。结果表明,agox 掩膜在较低的温度作用下有良好的开关性能,反应agox Ag+O2可逆,适用于LSC-super-RENS光盘。用X-ray和TEM分析了热处理后的A... 详细信息
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