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actuation voltage wave-form dependence of charge accumulation in RF MEMS switches

Actuation voltage wave-form dependence of charge accumulatio...

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2007亚洲光电子会议微电子机械系统/微型光机电系统技术及应用分会场

作者： Haisheng Sana, Linxian Zhana, Peng Xua, Gang Lia, Xuyuan Chena,b, aPen-Tung Sah Micro-Electro-Mechanical Systems Research Center, Xiamen University, Xiamen, Fujian 361005, China bFaculty of Science and Engineering, Vestfold University College, Box 2243, N-3103 Tnsberg, Norway

RF MEMS capacitive switches hold great promise in commercial, aerospace, and military ***, their commercialization is hindered by reliability concerns: charging effect in the dielectric layer can cause irreversible stiction of the actuating part of the ***, a popular method to investigate the charging/discharging in the dielectric layer is to measure an actual RF MEMS capacitive switch, which means a high experimental cost in fabricating MEMS switch *** this paper, a Metal-Insulator-Semiconductor (MIS) capacitor is used to investigate the charge accumulation in the dielectric layer of RF MEMS *** measuring the capacitance versus voltage (C-V) curves of MIS capacitor after voltage stressing, the dielectric charging/discharging characteristics are *** experiment results indicate that the injected charges from the metal bridge in RF MEMS switches are responsible for stiction *** SiNx dielectric, the hole capture is more favored over electron capture, and the trapped charges tend to inhibit the charges further *** effects of the actuation voltage waveform on the charge accumulation in the dielectric layer were *** is verified that the tailored actuation voltage waveforms can be used to improve the reliability of RF MEMS capacitive switches.

关键词： RF MEMS switch MIS capacitor actuation voltage waveform Charge accumulation.

来源： cnki会议评论

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