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Design of interdigitated transducers for acoustofluidic applications

Nanotechnology and Precision Engineering 2022年第3期5卷 36-54页

作者： Shuren Song Qi Wang Jia Zhou Antoine Riaud State Key Laboratory of ASIC and System School of MicroelectronicsFudan UniversityShanghaiPeople’s Republic of China

Interdigitated transducers(IDTs)were originally designed as delay lines for *** a century later,they have found new life as actuators for microfluidic *** generating strong acoustic fields,they trigger nonlinear effects that enable pumping and mixing of fluids,and moving particles without ***,the transition from signal processing to actuators comes with a range of challenges concerning power density and spatial resolution that have spurred exciting developments in solid-state acoustics and especially in IDT *** some familiarity with acoustofluidics,this paper aims to provide a tutorial for IDT design and characterization for the purpose of acoustofluidic *** is targeted at a diverse audience of researchers in various fields,including fluid mechanics,acoustics,and microelectronics.

关键词： Acoustic field Surface acoustic wave Transducer Finite-element analysis Simulation acoustical properties Lab-on-a-chip Acoustic wave attenuation

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