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文献类型

  • 131 篇 期刊文献
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  • 11 篇 会议

馆藏范围

  • 231 篇 电子文献
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日期分布

学科分类号

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    • 1 篇 教育学

主题

  • 231 篇 azo薄膜
  • 52 篇 磁控溅射
  • 45 篇 光电性能
  • 20 篇 电阻率
  • 17 篇 溶胶-凝胶
  • 13 篇 电学性能
  • 13 篇 光电特性
  • 12 篇 磁控溅射法
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  • 9 篇 溶胶-凝胶法
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  • 8 篇 直流磁控溅射
  • 8 篇 表面形貌
  • 7 篇 掺杂
  • 7 篇 光学性能
  • 6 篇 脉冲激光沉积
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  • 6 篇 退火

机构

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  • 11 篇 电子科技大学
  • 10 篇 哈尔滨工业大学
  • 9 篇 华中科技大学
  • 7 篇 浙江大学
  • 7 篇 郑州大学
  • 6 篇 山东大学
  • 6 篇 深圳大学
  • 5 篇 上海理工大学
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  • 4 篇 江苏大学
  • 4 篇 重庆邮电大学
  • 4 篇 武汉科技大学
  • 4 篇 清华大学
  • 4 篇 昆明理工大学
  • 4 篇 吉首大学
  • 3 篇 沈阳建筑大学
  • 3 篇 长春理工大学
  • 3 篇 辽宁工业大学

作者

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  • 5 篇 李丽
  • 5 篇 姚婷婷
  • 4 篇 李晓东
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  • 4 篇 彭寿
  • 4 篇 曹培江
  • 4 篇 孟军霞
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语言

  • 231 篇 中文
检索条件"主题词=AZO薄膜"
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排序:
衬底和退火时间对Al掺杂ZnO薄膜微结构和光学特性的影响
收藏 引用
材料导报(纳米与新材料专辑) 2013年 第2期27卷 193-196页
作者: 孟军霞 马全新 王超 新疆工程学院基础部 乌鲁木齐830091 哈尔滨工业大学化工学院 哈尔滨150001
采用射频磁控溅射方法在玻璃和硅衬底上制备出Al掺杂ZnO(azo)薄膜。利用X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)和光致荧光发光(PL)等系统研究了不同Al掺杂量对ZnO薄膜的结晶性能、表面形貌和光学特性等的影响。结果显示,硅衬底和玻璃衬... 详细信息
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