检索结果-南通市图书馆

检索条件"主题词=90 nm"

共 1 条记录，以下是1-10 订阅

全选清除本页清除全部题录导出标记到"检索档案"

详细简洁

排序：

A Triple Gate Oxide Logic Process for 90nm Manufacturing Technology

A Triple Gate Oxide Logic Process for 90nm Manufacturing Tec...

引用

2004 7th International Conference on Solid-State and Integrated Circuits Technology（ICSICT 2004）

作者： Coming Chen United Microelectronics Corporation（UMC） No3.Li-Hsin Rd.ⅡScience-Based Industrial ParkHsin-Chu CityTaiwan 300China

ISBN: (纸本)078038511X

＜正＞We have developed 90 nm-node CMOS technology for general-purpose system-on-a-chip（SoC）,in which both high performance and low leakage devices are strongly *** highly reliable triple gate oxide （1.55nm,2.2nm and 5.2nm） and multi-Vt options,this platform offers broad foundry *** Standard Performance（SP） transistors provide on-current of 910/405μA/um for n/pFET’s with off-current of 8/16 nA/μm,*** Low Leakage（LL） transistors provide on-current of 450/170μA/um for n/pFET’s with off-current of 30/30 pA/μ*** transistors are incorporated with optimized triple well,nitrided gate oxide dielectrics,ultra shallow junction,offset oxide spacer,low temperature nitride spacer and low temperature Cobalt salicide to optimize the device performance.A 9-level hierarchical Cu/Low-k BEOL integration is implemented to maximize interconnect *** embedded SRAM cells are provided for high performance and low leakage options.

关键词： system-on-chip CMOS logic circuits logic design nanotechnology SRAM chips triple gate oxide logic process CMOS technology general-purpose system-on-a-chip low leakage devices low leakage transistors optimized triple well nitrided gate oxide dielectrics ultra shallow junction offset oxide spacer low temperature nitride spacer low temperature cobalt salicide Cu/Low-k BEOL integration embedded SRAM cells 90 nm 1.55 nm 2.2 nm 5.2 nm

来源： cnki会议评论

在线全文

cnki会议

学校读者我要写书评

暂无评论

全选清除本页清除全部题录导出标记到“检索档案”

共1页 << < 1 > >>

回到顶部

执行限定条件

欢迎您,

建议与咨询留下您的常用邮箱和电话号码，以便我们向您反馈解决方案和替代方法

时间限定

文献类型

馆藏选择

核心期刊

语言

文献类型

帮助

文字说明：

检索规则说明：

检索范例：

分类表

所选分类

限定检索结果

文献类型

馆藏范围

日期分布

学科分类号

主题

机构

作者

语言

在线全文

请选择保存的检索档案：

请选择收藏分类：

通借通还

欢迎您,

建议与咨询 留下您的常用邮箱和电话号码，以便我们向您反馈解决方案和替代方法

时间限定

文献类型

馆藏选择

核心期刊

语言

文献类型

帮助

文字说明：

检索规则说明：

检索范例：

分类表

所选分类

限定检索结果

文献类型

馆藏范围

日期分布

学科分类号

主题

机构

作者

语言

在线全文

请选择保存的检索档案： 新增检索档案 确定 取消

请选择收藏分类： 新增自定义分类 确定 取消

通借通还

建议与咨询留下您的常用邮箱和电话号码，以便我们向您反馈解决方案和替代方法

请选择保存的检索档案：

请选择收藏分类：