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  • 1 篇 理学
    • 1 篇 物理学
  • 1 篇 工学
    • 1 篇 化学工程与技术

主题

  • 1 篇 物理气相传输
  • 1 篇 保温棉
  • 1 篇 晶体生长
  • 1 篇 电阻加热
  • 1 篇 8英寸sic晶体
  • 1 篇 输运机理
  • 1 篇 加热器
  • 1 篇 热场设计

机构

  • 1 篇 中电化合物半导体...
  • 1 篇 清华大学
  • 1 篇 山东力冠微电子装...

作者

  • 1 篇 郑丽丽
  • 1 篇 马远
  • 1 篇 张辉
  • 1 篇 卢嘉铮
  • 1 篇 宋德鹏

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=8英寸SiC晶体"
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大尺寸电阻加热式碳化硅晶体生长热场设计与优化
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人工晶体学报 2022年 第3期51卷 371-384页
作者： 卢嘉铮 张辉 郑丽丽 马远 宋德鹏 清华大学航天航空学院 北京100084 清华大学工程物理系 北京100084 中电化合物半导体有限公司 宁波315336 山东力冠微电子装备有限公司 济南250119
大尺寸低缺陷碳化硅(sic)单晶体是功率器件和射频(RF)器件的重要基础材料,物理气相传输(physical vapor transport,PVT)法是目前生长大尺寸sic单晶体的主要方法。获得大尺寸高品质晶体的核心是通过调节组分、温度、压力实现气相组分在... 详细信息
来源： 维普期刊数据库 维普期刊数据库 同方期刊数据库 同方期刊数据库 评论
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