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学科分类号

  • 1 篇 工学
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    • 1 篇 电子科学与技术（可...

主题

  • 1 篇 玻璃
  • 1 篇 pyrex
  • 1 篇 微机电系统(mems)
  • 1 篇 7740
  • 1 篇 湿法刻蚀

机构

  • 1 篇 北京大学

作者

  • 1 篇 闫桂珍
  • 1 篇 周健

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=7740"
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Pyrex玻璃的湿法刻蚀研究
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引用
微细加工技术 2004年 第4期 41-44页
作者： 周健 闫桂珍 北京大学微电子所 北京100871
对Pyrex7740玻璃的湿法刻蚀工艺进行了研究。实验中采用了几种不同的材料(光刻胶、Cr/Au、TiW/Au)作为刻蚀玻璃的掩膜,通过实验发现TiW/Au掩膜相对目前比较常用的Cr/Au掩膜有很多优点,如减少了玻璃的横向腐蚀,增加了深宽比,刻蚀图形边... 详细信息
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