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主题

  • 1 篇 二氧化硅
  • 1 篇 高频单面无极石英...
  • 1 篇 厚度监测
  • 1 篇 湿法刻蚀

机构

  • 1 篇 湖南大学
  • 1 篇 中南大学

作者

  • 1 篇 冯浪霞
  • 1 篇 张润
  • 1 篇 陈金华
  • 1 篇 扶梅
  • 1 篇 司士辉

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=高频单面无极石英晶体微天平"
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高频单面无极石英晶体监测二氧化硅的刻蚀
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传感器世界 2021年 第5期27卷 1-5,14页
作者： 冯浪霞 司士辉 陈金华 扶梅 张润 中南大学化学化工学院 湖南长沙410083 湖南大学化学生物传感与计量学国家重点实验室 湖南长沙410083
研发一种能监测二氧化硅刻蚀的高频单面无极石英晶体微天平(HS-ES-QCM)传感装置,该检测装置是基于单片机控制DDS数字发生器产生正弦波信号对无极石英晶体进行扫描激励,通过相敏检波对其谐振频率信号采集的一种分析系统。H-S-ES-QCM可实... 详细信息
来源： 维普期刊数据库 维普期刊数据库 同方期刊数据库 同方期刊数据库 评论
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