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主题

  • 1 篇 系统辨识
  • 1 篇 高阶线性拟合
  • 1 篇 零差移频式干涉图...
  • 1 篇 微振动
  • 1 篇 全息曝光
  • 1 篇 pid控制

机构

  • 1 篇 清华大学

作者

  • 1 篇 鲁森
  • 1 篇 张鸣
  • 1 篇 朱煜
  • 1 篇 王磊杰
  • 1 篇 杨开明

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=高阶线性拟合"
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零差移频式干涉图形相位锁定系统的超精密控制
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光学精密工程 2017年 第5期25卷 1213-1221页
作者： 王磊杰 张鸣 鲁森 朱煜 杨开明 清华大学机械工程系摩擦学国家重点实验室精密超精密制造装备及控制北京市重点实验室 北京100084
利用全息曝光法制造大口径全息平面光栅时,常引入零差移频式干涉图形相位锁定系统来提高全息曝光质量。本文针对直接影响最终干涉曝光精度的系统控制精度开展研究。首先,介绍了新型的零差移频式干涉图形锁定系统的原理和结构,在系统理... 详细信息
来源： 维普期刊数据库 维普期刊数据库 同方期刊数据库 同方期刊数据库 评论
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