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放电型气相色谱仪在高纯气体及特种气体杂质测定中的应用
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气体净化 2003年 第4期3卷 170-171页
作者： 张丙新 北京赛思瑞泰科技有限公司，北京100054
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洁净室内高纯气体管路系统的洁净技术
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洁净与空调技术 2001年 第4期 38-42页
作者： 张洪雁 中国航天建筑设计研究院
提出了超高纯气体输配管路系统的设计目标和该系统安装应达到的技术标准,最终应达到或满足输送气体的中的杂质含量低于ppb级的水平。
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浅谈洁净室内高纯气体管道施工
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洁净与空调技术 2010年 第3期 50-51页
作者： 李志华 雷虹 中国电子工程设计院世源希达工程技术公司 中国电子工程设计院世源科技工程有限公司
洁净厂房中各种产品的生产过程需要各种不同的高纯气体,对气体的品质要求越来越高。必须了解、掌握如何有效地控制施工过程、如何提高高纯气体管道的安装质量、如何检测高纯气体的品质。介绍个人在安装施工过程中积累的一点心得,供同行... 详细信息
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在电子工业中如何正确选用高纯气体
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低温与特气 1985年 第1期3卷 33-36页
作者： 桂子王 浙江大学半导体材料研究室
随着科学技术向高、精、尖发展，对各种原材料“纯度”的要求开始越来越高。但是，高纯气体所能提供的数量通常总是较少的，同时，价格昂贵。因此，如何正确地恰如其分地提出对原料气的纯度要求，如何选用高纯气就成为一个值得讨论的问... 详细信息
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氦离子化检测器(PDHID)与火焰离子化检测器(FID)在高纯气体分析中的性能比较(续)
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低温与特气 2011年 第2期29卷 44-48页
作者： 方华 周朋云 庄鸿涛 上海华爱色谱分析技术有限公司 上海200437 西南化工研究设计院 四川成都610225
简述了火焰离子化检测器(FID)与氦离子化检测器(PDHID)的结构、工作原理及其应用。通过对高纯气N2、H2、Ar、He、O2中杂质分析的比较,显示GC只需配有一个PDHID即可完成对无机与有机杂质的分析,而且PDHID具有更高的灵敏度、更低的检测限。
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应用于高纯气体净化过程的不锈钢气动阀门
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低温与特气 2001年 第1期19卷 8-9页
作者： 初建胜 付启贵 王瑞升 邱长春 中科院大连化物所科技开发公司气体工程发展中心 辽宁大连116012
介绍了 ZDF 2 5 - 45气动波纹管阀门 ,该阀具有价格低廉、运行高效等特点 ,可以替代进口阀门 ,广泛应用于高纯、超纯、超高纯气体生产、净化、输送等领域。
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微电子工业对高纯气体中粒子的要求
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低温与特气 1991年 第1期 76-77页
作者： 张桂樵
随着微电子工业的迅猛发展,集成电路的高度可靠性、多功能和高集成度对高纯气体提出了更严格的要求,例如,VLSI、VHSIC器件的加工需要高纯、干燥(无水)和无尘的气体。新一代VLSI微电子产品的制造需要更高质量的气体。
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PDHID与中心切割技术在高纯气体分析中的应用
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低温与特气 2015年 第2期33卷 51-54页
作者： 张体强 胡树国 中国计量科学研究院 北京100029
脉冲放电氦离子化检测器作为一种通用型检测器,对几乎所有气体组分均具有很高的灵敏度。中心切割技术通过对气体的切割,可有效分离低含量待测组分,防止底气干扰。二者的结合可较好的用于对高纯气体中痕量杂质测定。以He、N2、Ar三种高... 详细信息
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国内高纯气体应用现状
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低温与特气 2010年 第3期28卷 7-9,22页
作者： 牛丽红 于世林 北京化工大学北方学院 北京东燕郊迎宾北路45号101601
阐述了我国高纯气体应用现状,强调了在电子工业生产中,特种高纯气体在大规模集成电路、液晶显示器、多晶硅和薄膜太阳能电池、新型电光源、光电半导体器件、光纤通讯器件中的应用;在化学测量质量保证中,校准测量体系,评价分析方法的可靠... 详细信息
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半导体用高纯气体
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化工新型材料 1982年 第4期 12-16页
作者： 三友
生产半导体需使用多种化学品。据推测,1980年美国用于半导体工业的化学品约达900亿日元,主要用在生产集成电路方面。另外,印刷线路板制造厂家等购买了约相当于400亿日元的化学品。两项合计约为1,200亿日元。这些化学品是:(1) 光致抗蚀... 详细信息
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