检索结果-南通市图书馆

维普期刊数据库

在线全文

学校读者我要写书评

暂无评论

国外特种气体配套件技术概况

化工新型材料 1987年第9期 8-14页

作者：梁国仑光明化工研究所

特种气体工业是一个技术知识和资金密集的行业,所涉及的技术领域宽,其中主要包括气体制备纯化技术、混合气体配制混匀技术、分析检测技术、环境保护及安全技术、配套件技术。配套件技术包括:减压器、气瓶阀和管路阀件配件的制造和使用... 详细信息

特种气体工业是一个技术知识和资金密集的行业,所涉及的技术领域宽,其中主要包括气体制备纯化技术、混合气体配制混匀技术、分析检测技术、环境保护及安全技术、配套件技术。配套件技术包括:减压器、气瓶阀和管路阀件配件的制造和使用技术、管路安装处理和吹洗技术、容器内表面处理技术、过滤和计测技术等。随着我国特种气体工业的发展,为了有效和安全地使用特种气体,必须大力研制配

关键词：减压器技术规格日本高纯气体减压阀吹洗系统特种气体配套件

在线全文

同方期刊数据库

学校读者我要写书评

暂无评论

超净气体输送管道系统的洁净管理

中国工程咨询 2012年第7期 59-60页

作者：李国钰吕希洲中国电子工程设计院

一．引言超净的气体输送管道系统，是指具有超净化要求的输送高纯气体、掺杂气体的管道系统，广泛应用于集成电路器件生产、太阳能光伏电池生产、PDF显示器面板生产等微电子领域，该系统输送的气体主要有高纯大宗气体（高纯氧、高纯氩... 详细信息

一．引言超净的气体输送管道系统，是指具有超净化要求的输送高纯气体、掺杂气体的管道系统，广泛应用于集成电路器件生产、太阳能光伏电池生产、PDF显示器面板生产等微电子领域，该系统输送的气体主要有高纯大宗气体（高纯氧、高纯氩、高纯氦、高纯氢等气体）、特气（硅烷、磷烷、砷烷、氯化氢、氯气等工艺气体），以上气体在下文中简称“超净气体”。

关键词：气体输送管道系统超净化管理洁净高纯气体集成电路器件电池生产

维普期刊数据库

在线全文

学校读者我要写书评

暂无评论

特种气体市场及应用

低温与特气 1999年第1期17卷 1-3页

作者：崔十安北京普莱克斯实用气体有限公司北京100022

由于气体产品种类很多，其分类和定义被厂家规定得五花八门，很不一致。因此，要确切地对所有气体产品作一分类和定义颇为困难。只能根据一般情况对气体的概况加以比较切合实际的分类。气体产品大至可以分为两大类别，即一般工业气体和... 详细信息

由于气体产品种类很多，其分类和定义被厂家规定得五花八门，很不一致。因此，要确切地对所有气体产品作一分类和定义颇为困难。只能根据一般情况对气体的概况加以比较切合实际的分类。气体产品大至可以分为两大类别，即一般工业气体和特种气体。一般工业气体是指经过空气分离设备制造的普通级的氧气和氮气、经过焦炉气分离或电解等方法制造出来的普通纯度的其它种类气体。工业气体一般要求生产量大，但对气体的纯度要求不高。特种气体则是用途有别于一般气体的气体。它在纯度、品种、性能等方面都是严格按照一定规格进行生产和使用的。特种气体因种类很多，又可以分为三类，即高纯气体、标准气体和电子特种气体。１　高纯气体高纯气体通常指利用现代提纯技术能制取的某个纯度等级的气体，纯度等级可以不同。但对不同气体“高纯”的概念也完全不同。目前市售的高压钢瓶装气体，若按能够达到的最高纯度来分类，请参见下表：表１　高纯气体的种类纯度高纯气体名称６Ｎ以上Ｈ２、Ｈｅ、Ｎ２５Ｎ以上Ｎ２、Ａｒ、Ｎｅ、Ｈｅ、ＰＨ３、Ｏ２、ＡｓＨ３４Ｎ以上Ｋｒ、ＣＯ、Ｃ２Ｈ４、Ｃ３Ｈ４、ＳＦ６、ＣＨ４、Ｃ３Ｈ８、ＨＣｌ、Ｎ２Ｏ、ＮＨ３、ＳＯ２、ＳｉＨ４、Ｂ２Ｈ６、ＢＣｌ３、Ｃｌ２、Ｈ２Ｓ、ＢＦ...

关键词：高纯气体混合气标准气体特种气体市场

维普期刊数据库

在线全文

学校读者我要写书评

暂无评论

电化学法测定气体中的微量氧

电化学法测定气体中的微量氧

全国气体标准化技术委员会、全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会、全国标准样品技术委员会气体标样工作组四届五次会议、全国气体标准化技术委员会分析分会一届五次联合会议

作者：曲庆李福芬周朋云大连大特气体有限公司西南化工研究设计院有限公司

一、引言随着我国经济的快速发展,企业越来越关注产品的质量,在空分气体和工业气体生产和应用中,氧含量一直是一个重要的控制指标。这主要是由于氧气是一种化学活性较强的物质,是一种较强的氧化剂。由于氧气无处不在,无孔不入,在某些特... 详细信息

一、引言随着我国经济的快速发展,企业越来越关注产品的质量,在空分气体和工业气体生产和应用中,氧含量一直是一个重要的控制指标。这主要是由于氧气是一种化学活性较强的物质,是一种较强的氧化剂。由于氧气无处不在,无孔不入,在某些特殊领域,控制和防范它成为一项高难度的课题。在半导体生产工艺中,用到大量高纯气体、电子工业用气体,而氧

关键词：电化学法回归方程 RSD 微量氧标准偏差高纯气体

来源： cnki会议评论

在线全文

cnki会议

学校读者我要写书评

暂无评论

超高纯氨中痕量水检测方法的研究

超高纯氨中痕量水检测方法的研究

作者：马晓轩北京化工大学

学位级别：硕士

超高纯氨是LED行业、微电子行业中重要的原料气体，主要应用于金属有机化学淀积法（MOCVD）制造外延芯片或氮化硅薄膜。过量的水分会严重影响工艺产率和产品质量。氨气中痕量水分析是气体分析领域的难点之一，目前国内外可以稳定、准确... 详细信息

超高纯氨是LED行业、微电子行业中重要的原料气体，主要应用于金属有机化学淀积法（MOCVD）制造外延芯片或氮化硅薄膜。过量的水分会严重影响工艺产率和产品质量。氨气中痕量水分析是气体分析领域的难点之一，目前国内外可以稳定、准确测量超高纯氨气中痕量水的方法只有光腔衰荡法、红外光谱吸收法和热分解露点法。国标中已将热分解露点法列为检测高纯氨气中痕量水分的方法，但国内目前采用该种测定方法的单位为零，而且对热分解露点法的研究也鲜有报道。本文主要通过改进热分解露点法可以稳定、准确、快速的测量超高纯氨气中痕量水分。本文主要设计、制作出气密性良好的超高纯氨进样器、氨分解反应槽、热分解露点装置。制作了氨分解催化剂d并考察了分解槽温度、气体流速对所选用的四种氨分解催化剂在测试中的水分基线的影响及分解槽温度、气体流量对氨分解率的影响，筛选出最适合的氨分解催化剂d用以测量超高纯氨中痕量水。采用热分解露点装置分析高纯氮气中痕量水、超高纯氨气中痕量水，并用配有氦离子放电检测器的气相色谱检测超高纯氨中的痕量氧，折算出超高纯氨中痕量水。与光腔衰荡法、红外吸收光谱法测试结果的比对分析证明热分解露点法测试值准确度较高，成本低，可用以分析超高纯氨气中痕量水分，最低检测限约80ppb。考查了氨分解温度、气体流量对高纯氨中痕量水分析的影响，从而确定热分解露点装置最佳工作条件。考查了变压置换、变流置换对缩短测试时间的影响，采用新的置换方式的测试时间是只平速吹扫所用时间的一半。比对了不同冷源的精密露点仪通过热分解露点装置测试高纯氮气、高纯氢气、超高纯氨气的检测限，制冷机为冷源的精密露点仪检测限最低。

关键词：痕量分析高纯气体痕量水分热分解露点法超高纯氨