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基于化学发光法的高纯气体中ppb量级NO_(x)浓度测量

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物理学报 2022年第13期71卷 368-376页

作者：张猛彭志敏杨乾锁丁艳军杜艳君华北电力大学控制与计算机工程学院北京102206 中国科学院大学工程科学学院北京100190 中国科学院力学研究所流固耦合系统力学重点实验室北京100190 清华大学能源与动力工程系电力系统与发电设备控制与仿真国家重点实验室北京100084

高纯气体在半导体器件制作及燃料电池等行业应用广泛,但其杂质气体直接对加工精度及效果产生显著影响,因此对关键痕量杂质气体进行浓度诊断尤为必要.本文基于化学发光光谱理论和氮氧化物催化转化机理,设计了一套痕量NO/NO_(x)同步高精... 详细信息

高纯气体在半导体器件制作及燃料电池等行业应用广泛,但其杂质气体直接对加工精度及效果产生显著影响,因此对关键痕量杂质气体进行浓度诊断尤为必要.本文基于化学发光光谱理论和氮氧化物催化转化机理,设计了一套痕量NO/NO_(x)同步高精度测量系统,通过标定实验可知,该测量系统具有高线性度(R^(2)=0.99967)、高灵敏度、低检测下限(约25 ppt,1 ppt=10^(–12))、易操作性等优势;同时,综合考虑不同背景气体对荧光、磷光的淬灭效应,建立不同高纯气体中NO_(x)测量方法,并利用该探测系统对实验室常用4种高纯气体(Ar,O_(2),CO_(2),N_(2))中ppb量级的氮氧化物进行测量,结果表示CO_(2)中的NO含量最高,约为9 ppb(1 ppb=10^(–9)),其他高纯气体中的NO含量较低,仅有0—4 ppb,4种高纯气体的NO_(2)含量均较低(气体制备及提纯方式对高纯气体中杂质NO_(x)含量进行评价及分析,旨在为燃料电池、半导体器件制备等尖端科技领域提供可靠的杂质气体成分诊断方法和数据基础.

关键词：化学发光高纯气体痕量气体淬灭

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高纯气体中痕量金属杂质的测定

Journal of Semiconductors 1989年第12期10卷 945-951页

作者：崔仙航徐学敏严性天郎文卉中国科学院半导体研究所

本工作深入研究了高纯氮、氢、氯化氢、氨、硼烷、硅烷、砷烷及磷烷中钼、钙、铬、铜、铁、钾、锰、钠、铅和锌十种常见金属杂质的测定方法,解决了易燃、易爆及剧毒气体的取样,溶液的吸收条件及基体分离等问题.建立了无火焰原子吸收光... 详细信息

本工作深入研究了高纯氮、氢、氯化氢、氨、硼烷、硅烷、砷烷及磷烷中钼、钙、铬、铜、铁、钾、锰、钠、铅和锌十种常见金属杂质的测定方法,解决了易燃、易爆及剧毒气体的取样,溶液的吸收条件及基体分离等问题.建立了无火焰原子吸收光谱法测定ng·g^(-1)量级的杂质,方法灵敏,简便,对生产及研制工艺将起积极的指导作用.

关键词：高纯气体痕量金属杂质测定

高纯气体中微量一氧化碳、甲烷、二氧化碳的气相色谱测定

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半导体技术 1990年第3期6卷 62-63页

作者：刘义民周荣琪航天部半导体器件失效分析中心

气体中微量一氧化碳、甲烷、二氧化碳的测定,大多用灵敏度较高的氢焰离子化检测器(FiD)。随着半导体工业的发展,大规模集成电路的生产对高纯气体中一氧化碳、甲烷、二氧化碳的检测,提出了更高的要求。然而,对氢焰离子化检测器,随着灵敏... 详细信息

气体中微量一氧化碳、甲烷、二氧化碳的测定,大多用灵敏度较高的氢焰离子化检测器(FiD)。随着半导体工业的发展,大规模集成电路的生产对高纯气体中一氧化碳、甲烷、二氧化碳的检测,提出了更高的要求。然而,对氢焰离子化检测器,随着灵敏度的提高,噪音明显增高,基线达到稳定需要较长的时间。我们采用液氮冷阱冷却载气,基线不仅能很快达到稳定,而且在高灵敏度时,噪音显著降低。长期测定结果表明,这一方法是完全可行的,能够满足集成电路生产对高纯气体中微量一氧化碳、甲烷、二氧化碳检测的需要。

关键词：高纯气体气相色谱测定 FiD

石墨炉原子吸收法测定高纯气体中微量金属方法的研究

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宇航材料工艺 1995年第4期25卷 48-51页

作者：宋晓年刘义民临潼航天工业总公司771所

本文采用自行设计的气体样品采集装置采集气样，用石墨炉原子吸收法测定高纯气体中的微量金属。本方法对气体中金属元素的吸收率高，操作简单，可监测高纯气体中１０－９ｍｇ／Ｌ级的金属杂质。

关键词：高纯气体金属元素气样采集石墨炉原子吸收法

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氧化锆在高纯气体测氧中的应用

功能材料与器件学报 2013年第2期19卷 98-104页

作者：孙霞张骋蒋丹宇冯涛徐权夏金锋上海应用技术学院材料科学与工程学院上海200235 中国科学院上海硅酸盐研究所上海201800

本文首先简要介绍了常用的测定高纯气体中氧气含量方法的工作原理、应用、优点以及局限性,如比色法,黄磷发光法,原电池法,浓差电池法,光纤法,气相色谱法等。随后重点针对氧化锆在高纯气体测氧中的应用现状和进展进行了总结,归纳了氧化... 详细信息

本文首先简要介绍了常用的测定高纯气体中氧气含量方法的工作原理、应用、优点以及局限性,如比色法,黄磷发光法,原电池法,浓差电池法,光纤法,气相色谱法等。随后重点针对氧化锆在高纯气体测氧中的应用现状和进展进行了总结,归纳了氧化锆微氧测氧仪存在的问题和今后发展的重点。

关键词：氧化锆高纯气体微氧测定

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高纯气体管道设计

工程设计与应用研究 2009年第3期 1-6,14页

作者：张运翻

高纯气体管道设计是高纯气体供气系统的重要组成部分，是将符合要求的高纯气体送至用气点仍保持质量合格的关键技术，包括系统的设计、管件及附件的选择、施工安装和试验测试等内容。

关键词：高纯气体管道设计供气系统管道材料特性

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高纯气体检测系统的研发

低温与特气 2021年第3期39卷 39-49页

作者：王富德李建浩朗析仪器(上海)有限公司上海201707

超纯气体、高纯气体的检测分析是痕量分析学科的一个分支。其是研究气体纯度分析与其中痕量杂质测定的一门范围较窄但具有现实意义的专业学科。随着我国经济的高速发展,对超纯气体、高纯气体不仅在数量上、质量上、种类上不断地提出新... 详细信息

超纯气体、高纯气体的检测分析是痕量分析学科的一个分支。其是研究气体纯度分析与其中痕量杂质测定的一门范围较窄但具有现实意义的专业学科。随着我国经济的高速发展,对超纯气体、高纯气体不仅在数量上、质量上、种类上不断地提出新的要求,而且对相应的国家标准、检测理论、方法与检测仪器的研究、研制与生产都提出了更高的要求。经过多年的研发,采用脉冲放电氦离子化检测器,六阀六柱气路分析流程,运用中心切割和反吹分析技术,各组分检测限可达10-9级别,这一方案的研发设计有效的指导生产工艺的控制与改革,确保产品质量。

关键词：超纯气体高纯气体检测分析痕量脉冲放电氦离子化检测器中心切割反吹

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高纯气体的分析——高纯气体中痕量氧的分析

低温与特气 1998年第4期16卷 64-66页

作者：赵敏刘颖化工部气体质量监督检验中心

１前言人类处在大气环境中，氧气维持着我们的生命。由于氧气无处不在，无孔不入，对于某些特殊领域，控制和防范它，成为一项高难度的课题。高纯气体的生产、使用过程，就面临这一问题。高纯气体中氧气的存在会带来什么样危害呢？在半... 详细信息

１前言人类处在大气环境中，氧气维持着我们的生命。由于氧气无处不在，无孔不入，对于某些特殊领域，控制和防范它，成为一项高难度的课题。高纯气体的生产、使用过程，就面临这一问题。高纯气体中氧气的存在会带来什么样危害呢？在半导体生产工艺中，用到大量高纯气体，...

关键词：高纯气体痕量分析氧分析

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高纯气体中痕量氢气氧气的分析

四川化工 2006年第4期9卷 34-38页

作者：赵诚王成端西南科技大学环境与资源工程学院绵阳621010

高纯气体中痕量氢气、氧气的分析在众多领域已成为研究的热点,特别是在某些特殊的场合对这类气体的检测需要快速准确甚至实时在线一直是个难题。传统的方法如气相色谱法、气质联用仪等能够精确地分析氢、氧的浓度,但其成本高、装置复杂... 详细信息

高纯气体中痕量氢气、氧气的分析在众多领域已成为研究的热点,特别是在某些特殊的场合对这类气体的检测需要快速准确甚至实时在线一直是个难题。传统的方法如气相色谱法、气质联用仪等能够精确地分析氢、氧的浓度,但其成本高、装置复杂、使用和维修都比较麻烦,在一些需要原位、在线测量的场合使用会受到很大限制。本文详细介绍了两种检测痕量氢、氧传感器的结构、原理和特性,以及对这两种气体的富集预浓缩方法,希望找出更为方便快捷使用传感器检测的方法,以便拓展这类气体的分析途径,为实时在线分析检测痕量的永久性气体提供参考依据和解决方案。

关键词：痕量分析高纯气体氢气氧气测定传感器