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文献类型

  • 2 篇 期刊文献

馆藏范围

  • 2 篇 电子文献
  • 0 种 纸本馆藏

日期分布

学科分类号

  • 2 篇 工学
    • 1 篇 电气工程

主题

  • 2 篇 高真空插板阀
  • 1 篇 工作状态
  • 1 篇 低粒子
  • 1 篇 粒度检测
  • 1 篇 监测
  • 1 篇 空间环境模拟器

机构

  • 1 篇 北京卫星环境工程...
  • 1 篇 广西成电智能制造...
  • 1 篇 柳州津晶电器有限...
  • 1 篇 电子科技大学

作者

  • 1 篇 武越
  • 1 篇 吕耀阳
  • 1 篇 王丛岭
  • 1 篇 范俊飞
  • 1 篇 袁帅阳
  • 1 篇 许磊
  • 1 篇 奚光金
  • 1 篇 刘金龙

语言

  • 2 篇 中文
检索条件"主题词=高真空插板阀"
2 条 记 录,以下是1-10 订阅
排序:
高真空插板阀工作状态诊断与监测方法研究
收藏 引用
真空与低温 2015年 第4期21卷 198-201页
作者: 武越 刘金龙 北京卫星环境工程研究所 北京100094
高真空插板阀广泛应用于空间环境模拟器真空分系统,如低温泵、分子泵泵口,粗抽机组总等。这些门均属于单点失效或一旦失效对试验系统运行产生较大影响的关键设备。以KM6空间环境模拟器试验系统的单点失效设备粗抽总为研究对象,... 详细信息
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低粒子高真空插板阀的检测方法研究
收藏 引用
电工技术 2023年 第15期 147-150,155页
作者: 奚光金 王丛岭 吕耀阳 袁帅阳 许磊 范俊飞 电子科技大学 四川成都611731 广西成电智能制造产业技术有限责任公司 广西柳州545007 柳州津晶电器有限公司 广西柳州545001
低粒子高真空插板阀因选用材料的特殊性和密封技术的先进性,在运行过程中产生的机械冲击力就会较小,从而大大地减少了颗粒污染。它是常用于集成电路的晶圆生产行业的一类真空门,而目前国内厂家还无法生产这类门,也没有进行相关的设... 详细信息
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