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高温快速退火对电子束物理气相沉积制备高硅硅钢片的影响

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功能材料 2007年第10期38卷 1603-1604,1609页

作者：李晓孙跃赫晓东哈尔滨工业大学复合材料与结构研究所黑龙江哈尔滨150001

对电子束物理气相沉积高硅硅钢片进行了高温快速退火处理。用SEM,EDS,XRD对制备态硅钢片和热处理态组织,成分,物相进行了表征,并测试了其电阻率和磁滞回线。结果表面:高温快速退火使高硅硅钢片硅成分变均匀,靠近基板侧的相由Fe3Si变成D... 详细信息

对电子束物理气相沉积高硅硅钢片进行了高温快速退火处理。用SEM,EDS,XRD对制备态硅钢片和热处理态组织,成分,物相进行了表征,并测试了其电阻率和磁滞回线。结果表面:高温快速退火使高硅硅钢片硅成分变均匀,靠近基板侧的相由Fe3Si变成DO3;硅钢片中孔长大,电阻率从90μΩ.m增大到160μΩ.m,矫顽力减小,磁感应强度减小。

关键词：高温快速退火高硅硅钢片电子束物理气相沉积

高温快速退火提升氧化铁光阳极光电化学水分解性能及机制研究

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高温快速退火提升氧化铁光阳极光电化学水分解性能及机制研究

作者：陈莹东北师范大学

学位级别：硕士

光电化学水分解是将太阳能转换成无污染的化学燃料来解决能源匮乏及环境污染的一条崭新途径。提高光阳极光生电荷的传输和转移能力是该领域研究的核心问题。本文以FeO为光阳极,利用其较宽的光谱响应、合理的价带位置以及良好的化学稳定... 详细信息

光电化学水分解是将太阳能转换成无污染的化学燃料来解决能源匮乏及环境污染的一条崭新途径。提高光阳极光生电荷的传输和转移能力是该领域研究的核心问题。本文以FeO为光阳极,利用其较宽的光谱响应、合理的价带位置以及良好的化学稳定性等特点,重点研究高温快速退火提升FeO光电化学水分解性能的作用机制,并协同界面修饰,进一步提高光生电子和空穴分离效率,探索提高FeO光阳极光电化学性能的有效途径。具体研究工作如下:针对FeO薄膜结晶性差,体内复合严重的问题,分别对FTO/FeO光阳极进行时间相对较长的传统退火以及快速升温的高温退火。研究发现,高温快速退火能够提高氧化铁结晶性并去除部分表面态,从而提高体内电荷传输和FeO/电解液界面电荷转移能力,增加电荷分离效率。且高温快速退火相对传统的高温退火,对FTO衬底的导电性破坏小,能够保持对电子良好的收集能力,因此FTO/FeO光阳极展示了优异的光电化学水分解性能。针对FTO/FeO界面处的电荷复合问题,采用层层沉积的方法在FTO/FeO界面引入超薄的高结晶性的钛酸片层(Ti ONS),通过界面修饰抑制电子从FTO向FeO反向流动引起的复合,提高光生电荷分离。接着对FTO/TiO/FeO光阳极进行高温快速退火处理。研究表明,高温条件下,TiONS不仅能够抑制部分电子反向流动引起的复合,而且界面处的Ti存在向FeO中扩散的现象。Ti4+扩散到FeO中作为施主杂质,提高载流子浓度,增大带弯,促进光生电子和空穴的分离。同时,高温快速退火能够提高FeO结晶性,加快电荷传输,增加界面电荷转移能力,协同提高FTO/TiO/FeO光阳极的光电流密度。综上所述,高温快速退火能够同时降低FeO体内和表面电荷复合,且能实现向FeO中的有效元素掺杂。该方法简单、易操作,可以尝试应用其它电极,或进行其它元素掺杂,在优化光电化学水分解光阳极材料的发展中具有重要意义。

关键词：光电化学水分解 Fe2O3光阳极高温快速退火 TiO2阻挡层

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5182铝合金汽车板的高温快速退火

金属热处理 2016年第9期41卷 138-141页

作者：胡传彬黄程毅任月路赖仕祯广西南南铝加工有限公司广西南宁530031

通过模拟气垫式退火炉的高温快速退火工艺,研究了退火温度、保温时间对5182铝合金冷轧板力学性能、显微组织和拉胀成形性的影响。结果表明,高温快速退火可使5182冷轧板瞬时完成初次再结晶,得到平均尺寸11～13μm的细小晶粒,较高的退火... 详细信息

通过模拟气垫式退火炉的高温快速退火工艺,研究了退火温度、保温时间对5182铝合金冷轧板力学性能、显微组织和拉胀成形性的影响。结果表明,高温快速退火可使5182冷轧板瞬时完成初次再结晶,得到平均尺寸11～13μm的细小晶粒,较高的退火温度可缩短完成再结晶所需的时间,为控制晶粒发生异常长大,退火温度不宜超过480℃,保温时间不宜超过3 min,退火板伸长率可达26.5%,杯突值达9.5 mm。

关键词： 5182铝合金冷轧板高温快速退火初次再结晶晶粒长大拉胀成形

冷变形及热处理制度对5182铝合金薄板细晶组织的影响

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轻合金加工技术 2016年第10期44卷 32-36页

作者：胡传彬黄程毅赖仕祯徐燕萍任月路广西南南铝加工有限公司广西南宁530031

采用66%和80%冷变形量的5182铝合金薄板进行340℃~500℃高温快速退火及240℃~440℃长时退火试验。结果表明,大的冷变形量有助于试验合金的细晶强化,退火温度对其初次再结晶晶粒尺寸影响较小,高温退火有助于提高伸长率。大变形量的5182... 详细信息

采用66%和80%冷变形量的5182铝合金薄板进行340℃~500℃高温快速退火及240℃~440℃长时退火试验。结果表明,大的冷变形量有助于试验合金的细晶强化,退火温度对其初次再结晶晶粒尺寸影响较小,高温退火有助于提高伸长率。大变形量的5182铝合金冷轧薄板应采用短时保温快速退火的方式防止初次再结晶晶粒长大,保证晶粒尺寸分布的稳定性。

关键词： 5182铝合金冷变形量高温快速退火晶粒细化

65nm以下CMOS镍硅化物中镍过度扩散的工艺优化

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65nm以下CMOS镍硅化物中镍过度扩散的工艺优化

作者：孔祥涛复旦大学

学位级别：硕士

在半导体制造业中,自对准金属硅化物被广泛应用在源、漏、栅极与金属之间的接触,在大规模和超大规模CMOS逻辑集成电路技术中起着非常重要的作用。随着晶体管集成度越来越高,器件尺寸越来越小,金属硅化物也不断地在发展变化。在进入65nm... 详细信息

在半导体制造业中,自对准金属硅化物被广泛应用在源、漏、栅极与金属之间的接触,在大规模和超大规模CMOS逻辑集成电路技术中起着非常重要的作用。随着晶体管集成度越来越高,器件尺寸越来越小,金属硅化物也不断地在发展变化。在进入65nm以及45nm技术节点以后,由于线宽效应的制约,业界转而采用硅化镍取代原有的硅化钴,以降低电阻值并减少漏电流,获得更高的器件性能。但由于镍原子比较活跃,并且硅化镍在高温下不稳定,会转变为高电阻相。而且镍原子容易发生过度扩散进入器件深处,严重影响器件性能并降低产品良率。通常采用添加其他金属元素来增强硅化镍的热稳定性。本文通过研究分析镍的扩散发生机制,针对镍硅化物工艺进行对比实验,优化了其制备工艺。实验分别对比了不同温度快速退火对镍扩散的影响,并通过调整溅射工艺参数,来比较不同条件下沉积的镍铂薄膜中铂含量以及它对镍扩散的影响;还对比研究了不同的镍硅化物制备工艺条件对镍扩散的影响。通过这些实验,找到了两种有效解决镍扩散问题的制备方案。在本项研究工作中,根据实际生产降低成本,提高效益的需求,选取降低退火温度增加镍铂沉积薄膜厚度的方案应用到实际生产工艺中,使产品的缺陷降低,良率和可靠性得到了有效提升。

关键词：自对准硅化物硅化物镍硅化物高温快速退火镍扩散

快速退火对氧化铁中掺杂钛的激活效应及其光电化学水分解性能影响的研究

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快速退火对氧化铁中掺杂钛的激活效应及其光电化学水分解性能影响...

作者：高双东北师范大学

学位级别：硕士

光电化学分解水体系是提供新型清洁能源的一条重要途径。掺杂的窄带隙半导体光阳极既具有较高的太阳光利用率,又能获得较好的电荷传输特性。但掺杂的有效性问题一直是制约光阳极光电化学性能的重要因素。高温退火可以使杂质原子发生更... 详细信息

光电化学分解水体系是提供新型清洁能源的一条重要途径。掺杂的窄带隙半导体光阳极既具有较高的太阳光利用率,又能获得较好的电荷传输特性。但掺杂的有效性问题一直是制约光阳极光电化学性能的重要因素。高温退火可以使杂质原子发生更有效的替位,但是长时间的高温退火会对衬底造成破坏。针对以上问题,本文以钛掺杂氧化铁(Ti:FeO)作为光阳极,进行高温快速退火处理,研究了高温快速退火对掺杂Ti原子的激活作用以及对Ti:FeO光阳极的光电化学分解水性能的提升作用。具体研究内容如下:1.采用不同浓度(0%-10 a.t.%)的钛掺杂氧化铁(Ti:FeO)作为光阳极,分别进行传统马弗炉500℃与高温快速退火炉700℃退火处理。测试结果表明,与传统退火方法相比,高温快速退火更加有效地激活了FeO光阳极中掺杂的Ti,使Ti更有效地替位掺杂到FeO晶格中:显著提高了载流子浓度、电导率以及电荷界面转移性能,得到了较大的光电流。其中,5%-Ti:FeO-700的载流子浓度达到1.353×10 cm,光电流达到了0.91mA/cm(1.23 V vs.RHE),分别为5%-Ti:FeO-500样品的19.33倍、6倍。针对样品产氧动力学不足的问题,通过表面修饰Co-Pi作为助催化剂。结果表明:Co-Pi的修饰使开启电压和平带电位明显负移。2.采用激光退火的方式对5%-Ti:FeO样品进行处理,通过调节脉冲激光的波长,激光脉冲能量和激光脉冲次数优化实验条件。结果表明:对于钛掺杂氧化铁光阳极,激光波长为450 nm、激光脉冲能量为15 mJ、脉冲次数为20次时,得到最优的光电化学性能:激光退火后样品的光电流为0.486 mA/cm(1.23 V vs.RHE),载流子浓度为1.29×10 cm,分别是未退火样品的1.83倍和10.07倍,说明激光退火能够有效激活掺杂钛,提高样品的载流子浓度。而且电化学阻抗和电荷转移效率测试表明,激光退火同时提高了5%-Ti:FeO的电荷传输和电荷转移能力。

关键词：光电化学水分解高温快速退火激光退火激活效应钛掺杂氧化铁