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机构

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作者

  • 1 篇 尹甲运
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  • 1 篇 蔡树军
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检索条件"主题词=高温形核层"
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高温形核层对蓝宝石衬底AlN薄膜质量的影响
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微纳电子技术 2014年 第7期51卷 434-437页
作者： 刘波 尹甲运 吕元杰 敦少博 冯志红 蔡树军 专用集成电路重点实验室 石家庄050051
采用两步生长模式的金属有机化学气相沉积方法在蓝宝石衬底上外延生长AlN薄膜,通过高分辨X射线衍射和原子力显微镜分析方法,研究发现蓝宝石衬底上外延生长的AlN薄膜晶体质量与高温AlN形核层的形核密度及晶粒大小密切相关,而形核密度决... 详细信息
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