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学科分类号

  • 1 篇 教育学
    • 1 篇 教育学

主题

  • 1 篇 高度样品
  • 1 篇 制备方法
  • 1 篇 原子台阶
  • 1 篇 研究

机构

  • 1 篇 常州检验检测标准...

作者

  • 1 篇 李静

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=高度样品"
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单原子台阶高度样品制备技术研究
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引用
计量与测试技术 2024年 第10期50卷 83-84,88页
作者： 李静 常州检验检测标准认证研究院
超大规模集成电路的台阶高度是集成芯片设计、研发和生产中的一个重要参数。其高度参数的快速精确测量是确保芯片质量、提高生产效率的重要手段。原子力显微镜(AFM)是一种具有原子级分辨率的常用新型显微测量工具,被广泛应用于纳米技术... 详细信息
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