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  • 3 篇 期刊文献

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  • 3 篇 工学
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  • 1 篇 理学
    • 1 篇 物理学
    • 1 篇 化学

主题

  • 3 篇 高动态精密伺服
  • 2 篇 光刻机
  • 2 篇 前馈补偿
  • 2 篇 工件台
  • 1 篇 干扰观测器
  • 1 篇 线性自抗扰
  • 1 篇 零相位跟踪控制
  • 1 篇 直线电机
  • 1 篇 自抗扰

机构

  • 3 篇 哈尔滨工业大学

作者

  • 3 篇 陈兴林
  • 3 篇 刘川
  • 1 篇 马伟
  • 1 篇 周乃新
  • 1 篇 王斌
  • 1 篇 武志鹏
  • 1 篇 朱非甲

语言

  • 3 篇 中文
检索条件"主题词=高动态精密伺服"
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基于ZPETC-FF和DOB的精密运动平台控制
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哈尔滨工业大学学报 2014年 第1期46卷 1-6页
作者： 陈兴林 刘川 周乃新 王斌 哈尔滨工业大学航天学院 哈尔滨150001
光刻机的工件台和掩模台采用长行程直线电机宏动跟随平面电机高精密微动的复合运动方式,实现系统高动态纳米级精度的跟踪定位.为减小平面电机的运动范围和加速度,必须提高直线电机精密运动平台的跟踪精度.提出一种零相位误差跟踪控制器... 详细信息
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精密运动平台线性自抗扰控制
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中南大学学报（自然科学版） 2013年 第8期44卷 3210-3215页
作者： 陈兴林 刘川 武志鹏 哈尔滨工业大学航天学院 黑龙江哈尔滨150001
基于高动态精密伺服运动平台系统模型提出一种线性自抗扰控制方法。该方法的控制器通过扩张状态观测器观测系统的动态变化,补偿系统中的未建模动态和各种扰动,为减小系统的动态跟踪误差,再运用前馈对系统的跟踪误差进行补偿。在此复合... 详细信息
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直线电机的线性自抗扰控制
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引用
电机与控制学报 2013年 第1期17卷 71-76页
作者： 刘川 朱非甲 马伟 陈兴林 哈尔滨工业大学航天学院 黑龙江哈尔滨150001 哈尔滨工业大学超精密光电仪器工程研究所 黑龙江哈尔滨150001
光刻机的工件台是高动态精密伺服运动平台,它要求在系统高速运动的同时,采用长行程直线电机宏动跟随音圈电机高精密微动的驱动方式,实现系统纳米级的精确定位及跟踪。为减小微动电机的运动范围和加速度,必须提高直线电机的跟踪精度。针... 详细信息
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