检索结果-南通市图书馆

作者：朱昌伟电子科技大学

学位级别：硕士

YBa2Cu3O7-x(YBCO)高温超导薄膜在各个领域有着广泛应用。在大面积YBCO薄膜的制备中,膜厚均匀性、电学均匀性是首先考虑的问题。本文从提高薄膜沉积速率以及膜厚均匀性出发,设计了多工位盒型靶直流溅射系统。具体研究可以分为以下几点:1... 详细信息

YBa2Cu3O7-x(YBCO)高温超导薄膜在各个领域有着广泛应用。在大面积YBCO薄膜的制备中,膜厚均匀性、电学均匀性是首先考虑的问题。本文从提高薄膜沉积速率以及膜厚均匀性出发,设计了多工位盒型靶直流溅射系统。具体研究可以分为以下几点:1.多工位盒型靶直流溅射镀膜系统的设计:对单轴驱动双轴旋转的驱动方式进行分析,发现靶基距过大是其沉积速度低下的主要因素。通过改进,将驱动方式改为转盘式驱动,可以将靶基距降低到很小,大大提高薄膜的沉积速率。采用独特结构的盒型靶,使基片在很小的靶基距下也能有效降低负离子反溅射的损害,保证了薄膜的质量。2.用数学软件Matlab对该系统的膜厚分布进行仿真与计算,对基片动态和静态下膜厚分布进行对比,对靶基距、压强、基片公转自转速度比等因素对膜厚分布的影响进行仿真,旨在提出解决膜厚分布均匀性的具体方案。将实验数据与仿真数据进行对比,对仿真模型进行修改,旨在用仿真数据来指导实际的方案设计。3.分析了温度、压强、薄膜厚度、退火方式、基片公转速度等对薄膜结构的影响,得到了电学性能良好的薄膜。在多工位盒型靶直流溅射镀膜系统中,薄膜沉积速率提高了4倍以上。同时在两英寸基片上获得了面内起伏小于3%的薄膜,并提出了有效解决大面积薄膜均匀性的具体方案。根据多工位盒型靶直流溅射系统独特的设计和构造,提出了切实可行的提高薄膜质量的方法。在LaAlO3(LAO)单晶基片上获得了临界电流密度Jc≥2.5 MA/cm2(77 K 0 T 500 nm)的YBCO薄膜。微波表面特性满足微波器件的要求。

关键词： YBCO薄膜直流溅射快速制备膜厚均匀性高临界电流密度

来源：

同方学位论文库评论

在线全文

同方学位论文库

学校读者我要写书评

暂无评论

氧离子束辅助激光制备具有织构的YBCO薄膜

氧离子束辅助激光制备具有织构的YBCO薄膜

引用

作者：王忠柯黄新堂王又清王秋良陈清明华中理工大学激光技术国家重点实验室

应用氧离子束辅助准分子脉冲激光沉积薄膜技术,先在NiCr合金(Hastelloy c-275)基底上在室温下淀积具有平面织构的钇稳锆(YSZ)缓冲层薄膜,再在YSZ/NiCr基底上在750℃下制备具有平面织构和高临界电流密度的YBaCuO(YBCO)薄膜。YSZ和YBCO薄... 详细信息

应用氧离子束辅助准分子脉冲激光沉积薄膜技术,先在NiCr合金(Hastelloy c-275)基底上在室温下淀积具有平面织构的钇稳锆(YSZ)缓冲层薄膜,再在YSZ/NiCr基底上在750℃下制备具有平面织构和高临界电流密度的YBaCuO(YBCO)薄膜。YSZ和YBCO薄膜都为c-轴取向和平面织构的,YSZ(202)和YBCO(103)的X射线扫描衍射峰的全宽半峰值分别为18°和11°。YBCO薄膜的临界温度和临界电流密度分别为90K(R=0)和7.9×10A/cm(77K,零磁场)。

关键词：准分子脉冲激光 YBCO薄膜高临界电流密度 NiCr合金基底织构

来源： cnki会议评论

在线全文

cnki会议

学校读者我要写书评

暂无评论

氧离子束辅助激光制备平面织构的YBCO膜

氧离子束辅助激光制备平面织构的YBCO膜

引用

作者：王忠柯黄新堂王又青叶和清华中理工大学激光技术国家重点实验室华中师范大学物理系

应用氧离子束辅助准分子脉冲激光沉积薄膜技术,先在不锈钢基底上室温下淀积出平面织构的钇稳锆(YSZ)缓冲层薄膜,再在YSZ/不锈钢上750℃下制备出了平面织构和高临界电流密度YBaCuO(YBCO)薄膜。YSZ和YBCO薄膜都为C-轴取向和平面织构的,YSZ... 详细信息

应用氧离子束辅助准分子脉冲激光沉积薄膜技术,先在不锈钢基底上室温下淀积出平面织构的钇稳锆(YSZ)缓冲层薄膜,再在YSZ/不锈钢上750℃下制备出了平面织构和高临界电流密度YBaCuO(YBCO)薄膜。YSZ和YBCO薄膜都为C-轴取向和平面织构的,YSZ(202)和YBCO(103)的X射线(扫描衍射峰的全宽半峰值分别为20°和12°。YBCO薄膜的临界温度和临界电流密度分别为91K(R=0)和7.2×10A/cm(77K,无外磁场)。

关键词： YBCO薄膜准分子脉冲激光高临界电流密度不锈钢基底平面织构

来源： cnki会议评论

在线全文

cnki会议

学校读者我要写书评

暂无评论

长江后浪推前浪

引用

中国产业 1996年第1期 21-21页

高温超导体自1986年被发现以来,掀起了一场世界性的超导热,当时正在中国科学院固体物理所攻读博士学位的李晓光,立即盯住了这一具有重大发展前景的课题。投入了大量的精力,探索高温超导的机理。1988年底,中国科技大学在超导研究中,获得... 详细信息

高温超导体自1986年被发现以来,掀起了一场世界性的超导热,当时正在中国科学院固体物理所攻读博士学位的李晓光,立即盯住了这一具有重大发展前景的课题。投入了大量的精力,探索高温超导的机理。1988年底,中国科技大学在超导研究中,获得了132K 超导体,引起了国际上的广泛关注。1989年3月,29岁的李晓光以博士后的身份转入已有一定的超导研究基础的中国科技大学物理系,在导师张裕恒教授的指导下,从事高温超导研究。他把研究的重点放在超导磁能动力学方面。当时,国际上普遍对高温超导发展前景悲观,原因是:作南温超导材料的应用必须是在高强磁场中具有高临界电流密度Jc,但高温超导体在磁场中超导相变出现一个新的R-T 展宽效应。对这个展宽的起因,超导界存在两种观点:即涨落和磁通线蠕动。两种观点争论十分激烈,如果是前者。

关键词：高温超导体发展前景中国科技大学超导研究超导磁高临界电流密度身份中国科学院探索投入

来源：

维普期刊数据库

同方期刊数据库评论

在线全文

学校读者我要写书评

暂无评论

欢迎您,

建议与咨询留下您的常用邮箱和电话号码，以便我们向您反馈解决方案和替代方法

时间限定

文献类型

馆藏选择

核心期刊

语言

文献类型

帮助

文字说明：

检索规则说明：

检索范例：

分类表

所选分类

限定检索结果

文献类型

馆藏范围

日期分布

学科分类号

主题

机构

作者

语言

在线全文

在线全文

在线全文

在线全文

请选择保存的检索档案：

请选择收藏分类：

通借通还

欢迎您,

建议与咨询 留下您的常用邮箱和电话号码，以便我们向您反馈解决方案和替代方法

时间限定

文献类型

馆藏选择

核心期刊

语言

文献类型

帮助

文字说明：

检索规则说明：

检索范例：

分类表

所选分类

限定检索结果

文献类型

馆藏范围

日期分布

学科分类号

主题

机构

作者

语言

在线全文

在线全文

在线全文

在线全文

请选择保存的检索档案： 新增检索档案 确定 取消

请选择收藏分类： 新增自定义分类 确定 取消

通借通还

建议与咨询留下您的常用邮箱和电话号码，以便我们向您反馈解决方案和替代方法

请选择保存的检索档案：

请选择收藏分类：