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非零位凸非球面子孔径拼接检测技术研究

中国光学 2018年第5期11卷 798-803页

作者：闫公敬张宪忠齐齐哈尔大学黑龙江齐齐哈尔161000

为了实现大口径凸非球面镜的高精度检测,本文研究了凸非球面非零位子孔径拼接检测技术,并建立了一套非零位拼接检测算法模型,模型中分别针对同轴子孔径与离轴子孔径非零位检测时所引入的测试误差进行了建模分析,同时对测试误差剔除、拼... 详细信息

为了实现大口径凸非球面镜的高精度检测,本文研究了凸非球面非零位子孔径拼接检测技术,并建立了一套非零位拼接检测算法模型,模型中分别针对同轴子孔径与离轴子孔径非零位检测时所引入的测试误差进行了建模分析,同时对测试误差剔除、拼接系数求解、全口径面形获得等问题进行了研究。最后,结合工程实例,对一口径为130 mm的凸双曲面进行了拼接检测,分析了该非球面各测试子孔径非零位检测误差形式,同时进行了误差剔除、全口径面形获取等工作。从拼接结果中可以看出,拼接结果光滑、连续、无拼接痕迹。为了进一步验证拼接精度,我们将拼接结果与子孔径检测结果进行对比,引入了自检验子孔径评价方法,计算得到自检验子孔径与拼接结果在自检验子孔径范围内的残差图,二者残差图的PV值与RMS值分别为0.016λ与0.003λ,由上述结果可以得到自检验子孔径的测试结果与拼接结果在自检验子孔径范围内是一致的,从而验证了本文算法的拼接精度。

关键词：干涉测量子孔径拼接非零位凸非球面

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光学非球面面形非零位检测的回程误差校正

光学学报 2016年第8期36卷 147-157页

作者：师途臧仲明刘东杨甬英种诗尧张磊白剑沈亦兵苗亮黄玮浙江大学光电科学与工程学院现代光学仪器国家重点实验室浙江杭州310027 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室吉林长春130033

光学非球面面形的非零位检测较零位检测而言具有更强的通用性。详细分析了非球面非零位检测中回程误差的产生机理,结合校正方法将其分为可预知回程误差和不可预知回程误差两部分,分析其对最终检测结果的影响。然后介绍了实际检测中常用... 详细信息

光学非球面面形的非零位检测较零位检测而言具有更强的通用性。详细分析了非球面非零位检测中回程误差的产生机理,结合校正方法将其分为可预知回程误差和不可预知回程误差两部分,分析其对最终检测结果的影响。然后介绍了实际检测中常用的回程误差校正方法的原理,通过仿真实验对比各种方法对不同非球面度、不同面形误差大小的被测非球面的校正效果,并结合方法原理和仿真结果分析了不同方法的回程误差校正能力,总结其适用范围。

关键词：测量干涉非球面检测非零位回程误差校正方法

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非球面非零位检测成像系统误差分析

科学与信息化 2021年第12期 24-24页

作者：曹磊安徽省计量科学研究院安徽合肥 230000

光学非球面检测中,非零位补偿干涉法因其偏离零位条件,返回波前具有较大像差.其成像系统将因此引入新的像差,影响检测结果.分析非球面非零位检测系统中成像系统主要误差,包括成像系统对准误差与成像系统对非零位波前传播引入的误差.

关键词：非球面检测非零位成像系统

来源：评论

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用于非球面通用化检测的部分零位透镜

红外与激光工程 2009年第2期38卷 322-325页

作者：刘东杨甬英田超卓永模浙江大学现代光学仪器国家重点实验室浙江杭州310027

非球面的非零位法检测高效快速,并可实现较高精度的通用化检测。介绍了一种可用于非球面非零位检测中降低检测光波前斜率的部分零位透镜。该透镜具有较大的球差,可以显著补偿被测非球面的纵向法线像差,使得返回的检测光波前能够被探测... 详细信息

非球面的非零位法检测高效快速,并可实现较高精度的通用化检测。介绍了一种可用于非球面非零位检测中降低检测光波前斜率的部分零位透镜。该透镜具有较大的球差,可以显著补偿被测非球面的纵向法线像差,使得返回的检测光波前能够被探测器分辨。论述了部分零位透镜的设计过程,特别是约束控制条件以及初始结构的选取原则,并就相对口径为f/2和f/1.5的两个抛物面给出了设计实例。设计结果表明:该部分零位透镜可以对一定口径和相对口径范围内的非球面实现部分零位补偿。利用一系列部分零位镜将可以对较大范围内的非球面进行补偿,从而实现常见非球面的通用化检测。该研究对非球面的通用化检测具有重要意义。

关键词：非球面部分零位透镜补偿法通用化检测非零位

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语句层义位组合的零位及其填补

外语学刊 1998年第1期 28-30页

作者：傅兴尚

与符号构成相应，词是形式和内容（或能指和所指）的统一体。义位（ceMeMa）就是指词的内容方面（与其对应的形式方面称词位），即词的意义。组合是指语流中按一定线性排列的两个或两个以上的语言单位。组合要受组合单位聚合性能的制约... 详细信息

与符号构成相应，词是形式和内容（或能指和所指）的统一体。义位（ceMeMa）就是指词的内容方面（与其对应的形式方面称词位），即词的意义。组合是指语流中按一定线性排列的两个或两个以上的语言单位。组合要受组合单位聚合性能的制约，而语言单位的聚合性能要通过其组合性能反映出来。作为语义单位，义位和其它语言单位一样可以组合，也只有组合起来，才能成为人们交流思想的工具。义位组会受其聚合性能制约体现在：1）决定义位间能否进入组合关系；2）构成组合关系后，组合体的意义不再是各个义位的简单加合，而要形成一系列特点。义位组合零位形式（以下简称HC。）就是这种特点之一。所谓义位组合的零位形式是指某个义位没有其外部形

关键词：义位组合述体抽象名词具体名词上海外语教育出版社非零位语法手段词位外部形式背景知识

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光学面形误差的可变补偿检测技术

光学面形误差的可变补偿检测技术

作者：卢劲丰国防科学技术大学

学位级别：硕士

光学非球面在现代光学系统中得到越来越广泛的运用,非球面面形的高精度检测一直以来都是光学加工的前提。本文针对非球面干涉测量存在的两类问题,即补偿器专一性问题和局部误差检测问题进行分析,提出了基于高次非球面透镜的近零位可变... 详细信息

光学非球面在现代光学系统中得到越来越广泛的运用,非球面面形的高精度检测一直以来都是光学加工的前提。本文针对非球面干涉测量存在的两类问题,即补偿器专一性问题和局部误差检测问题进行分析,提出了基于高次非球面透镜的近零位可变补偿检测技术和基于空间光调制器的动态补偿检测技术。从高次非球面的特性出发,设计、优化、加工了具有大范围补偿特性的高次非球面补偿透镜,以两块326mm口径椭球面验证了高次非球面透镜的补偿能力。研究了空间光调制器的相位调制特性,验证了其动态补偿能力,并针对其进一步在误差检测方面的运用提出了解决方案。论文研究内容主要分为以下三个方面:1.高次非球面可变像差特性研究。从几何像差理论出发,分析高次面的几何特性和光学像差特性;分析轴向间距对高次非球面透镜补偿能力的影响;最后仿真了高次非球面透镜的补偿能力,针对已知参数的高次非球面透镜绘制了补偿范围域。2.高次非球面透镜可变补偿系统。以不同面形参数的非球面试件为被测件,对高次非球面的面形参数进行设计优化,模拟其可变补偿能力;针对高次非球面透镜小口径、高陡度和大非球面度的特性,采用了基于确定性修形和环形子孔径拼接的加工检测方法,实现了高次非球面透镜高次面优于0.5λPV,平面0.08λPV的加工;以两块326mm口径椭球面验证了高次非球面透镜的补偿能力。3.空间光调制器的动态补偿研究。从空间光调制器的工作原理出发,分析了其相位灰度调制特性;对LC2012透射性空间光调制器进行了面形标定和校准分析,像差模拟精度分析,验证了其动态补偿能力;针对局部误差的检验提出了解决方案。

关键词：非球面面形检测非零位可变补偿动态补偿