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文献类型

  • 3 篇 期刊文献

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  • 3 篇 电子文献
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日期分布

学科分类号

  • 3 篇 工学
    • 2 篇 光学工程
    • 2 篇 材料科学与工程（可...
    • 2 篇 电子科学与技术（可...
    • 1 篇 电气工程
  • 2 篇 理学
    • 2 篇 物理学

主题

  • 3 篇 非涅耳衍射
  • 1 篇 阵列照明
  • 1 篇 高斯光束
  • 1 篇 su-8
  • 1 篇 光场分布
  • 1 篇 紫外光刻
  • 1 篇 mems
  • 1 篇 分数塔尔博特效应
  • 1 篇 光轴
  • 1 篇 透镜
  • 1 篇 光刻精度
  • 1 篇 光刻胶

机构

  • 1 篇 中国科学院上海光...
  • 1 篇 中国科学技术大学
  • 1 篇 复旦大学
  • 1 篇 汉中师范学院

作者

  • 1 篇 刘刚
  • 1 篇 田学红
  • 1 篇 周常河
  • 1 篇 张新夷
  • 1 篇 刘立人
  • 1 篇 田扬超
  • 1 篇 王淮生
  • 1 篇 潘宏利

语言

  • 3 篇 中文
检索条件"主题词=非涅耳衍射"
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分析光栅分数塔尔博特效应的一组新方程
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光学学报 2000年 第10期20卷 1364-1367页
作者： 王淮生 周常河 刘立人 中国科学院上海光学精密机械研究所 上海201800
对一维开口比为 1/M(这里 M为大于 1的正整数 )的矩形光栅 ,建立了一组新的在分数塔尔博特 (Talbot)距离上计算其菲涅耳衍射光场分布的简单方程。在该方程中考虑了光栅结构与分数塔尔博特距离的联系 ,显然比迭代方程和基于距离的方程更... 详细信息
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SU-8的紫外深度光刻模拟
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真空科学与技术 2002年 第6期22卷 417-420页
作者： 田学红 刘刚 田扬超 张新夷 中国科学技术大学国家同步辐射实验室 合肥230029 复旦大学同步辐射研究中心 上海200433
在微电子机械系统 (MEMS)中 ,大高宽比微结构被广泛应用。由于紫外光衍射效应比较大 ,通过紫外光刻获得高精度的大高度微结构并不容易。本文主要研究了衍射效应对深紫外光刻精度的影响 ,并与实验结果进行了比较 ,理论模拟结果和实验比... 详细信息
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高斯光束的光场分析
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陕西师大学报（自然科学版） 2000年 第2期28卷 121-122页
作者： 潘宏利 汉中师范学院物理学系 陕西汉中723000
应用非涅耳衍射原理 ,推导出了高斯光束通过透镜后在光轴上的光场分布 ,并分析了几种特殊情况 .
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