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主题

  • 1 篇 玻璃
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  • 1 篇 物理过程
  • 1 篇 静电封接法

机构

  • 1 篇 中国科学院上海冶...

作者

  • 1 篇 张熙
  • 1 篇 罗鸣
  • 1 篇 谭淞生
  • 1 篇 赵新安
  • 1 篇 王渭源

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=静电封接法"
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静电封接过程与机理研究
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引用
Journal of Semiconductors 1992年 第8期13卷 507-510,T001页
作者： 罗鸣 赵新安 张熙 谭淞生 王渭源 中国科学院上海冶金研究所
木文主要通过观察加热的硅-玻璃系统在静电场下的电流-时间(I-t)曲线。及其与封接状态的对应关系,用耗尽层和电场力的概念描述了封接的物理过程,讨论了表面状况对封接的影响,建立了表面粗糙程度与封接电压、材料刚度等参数的制约关系式... 详细信息
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