咨询与建议
  • 全部检索
  • 电子图书
  • 电子期刊
  • 纸本馆藏
  • 南通市公共图书馆
高级检索

限定检索结果

文献类型

  • 1 篇 期刊文献

馆藏范围

  • 1 篇 电子文献
  • 0 种 纸本馆藏

日期分布

学科分类号

  • 1 篇 工学
    • 1 篇 仪器科学与技术

主题

  • 1 篇 压缩系数
  • 1 篇 静液悬浮
  • 1 篇 近硅密度液体
  • 1 篇 测量
  • 1 篇 单晶硅球
  • 1 篇 热膨胀系数

机构

  • 1 篇 中国计量科学研究...

作者

  • 1 篇 佟林
  • 1 篇 王金涛
  • 1 篇 罗志勇
  • 1 篇 刘子勇
  • 1 篇 李占宏

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=静液悬浮"
共 1 条 记 录，以下是1-10 订阅
全选 清除本页 清除全部 题录导出 标记到"检索档案"
详细 简洁
排序：
近单晶硅密度液体压缩系数精密测量方法
收藏
分享
引用
仪器仪表学报 2014年 第2期35卷 475-480页
作者： 王金涛 刘子勇 佟林 罗志勇 李占宏 中国计量科学研究院 北京100013
近单晶硅密度液体(DSL-2329)广泛应用于单晶硅材料的高精密加工工艺中,其液体压缩系数准确测量对于单晶硅加工质量控制具有重要意义。为提高已有测量方法的精度,研究了一种基于单晶硅球静液悬浮原理的DSL-2329液体压缩系数测量方法。将... 详细信息
来源： 维普期刊数据库 维普期刊数据库 同方期刊数据库 同方期刊数据库 评论
全选 清除本页 清除全部 题录导出 标记到“检索档案”
共1页 <<  < 1 >  >>
回到顶部
执行限定条件