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学科分类号

  • 1 篇 工学
    • 1 篇 材料科学与工程（可...
    • 1 篇 电子科学与技术（可...

主题

  • 1 篇 精密测量
  • 1 篇 静力悬浮
  • 1 篇 单晶硅球
  • 1 篇 密度差值

机构

  • 1 篇 中国计量科学研究...

作者

  • 1 篇 王金涛
  • 1 篇 刘子勇

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=静力悬浮"
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基于静力悬浮原理的单晶硅球间微量密度差异精密测量方法研究
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物理学报 2013年 第3期62卷 374-381页
作者： 王金涛 刘子勇 中国计量科学研究院力学与声学计量科学技术研究所 北京100013
单晶硅球间微量密度差异测量是阿伏伽德罗常数量子基准定义的重要研究内容,也是半导体产业中高纯度单晶硅制备工艺质量控制的主要方法.为了改善现有非接触相移干涉法测量装置复杂和静力称重法测量不确定度低的特点,根据单晶硅密度精密... 详细信息
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