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主题

  • 1 篇 o
  • 1 篇 雾相化学气相沉积
  • 1 篇 光电响应
  • 1 篇 掺杂激活
  • 1 篇 sn辅助生长
  • 1 篇 沉积温度
  • 1 篇 α-ga

机构

  • 1 篇 南京邮电大学

作者

  • 1 篇 张茂林
  • 1 篇 杨莉莉
  • 1 篇 唐为华
  • 1 篇 郭宇锋
  • 1 篇 姚苏昊
  • 1 篇 李山
  • 1 篇 季学强

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=雾相化学气相沉积"
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基于mist CVD的高纯相α-Ga2O3生长与光电响应特性研究
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人工晶体学报 2025年
作者： 姚苏昊 张茂林 季学强 杨莉莉 李山 郭宇锋 唐为华 南京邮电大学集成电路科学与工程学院氧化镓半导体创新中心 南京邮电大学射频集成与微组装技术国家地方联合工程实验室
超宽禁带半导体氧化镓(Ga2O3)在功率电子和信息传感方面有重要应用，其高效、经济的制备方法是实现产业推广的重要环节。本文报道了一种Sn辅助雾相化学气相沉积（mist CVD）技术，基于这种非真空、低成本方法在c面蓝宝石衬底上成功外延... 详细信息
来源： 同方期刊数据库 同方期刊数据库 评论
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