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国外大规模集成电路制造工艺近况
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微电子学与计算机 1983年 第1期 25-28页
作者： 本刊编辑部
这是一份有关大规模集成电路制造工艺的国外考察调研报告。1.硅片加工工艺a.硅片中的氧含量问题原认为硅中之氧会使加工过程中产生缺陷,因此要求氧含量越少越好。后来经过研究,发现氧有吸收金属杂质的功能,形成吸收中心。进一步的研究表... 详细信息
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国外集成电路制造工艺设备概况
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微电子学 1972年 第1期 24-47页
前言集成电路是六十年代初期发展起来的一种新型电子器件,由于它的种种优点而得到广泛应用,发展也较快,成为当前实现电子设备微小型化的重要途径,它在空间研究、核武器、导弹、雷达、电子计算机和通讯装备方面的作用也日益明显。美帝国... 详细信息
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《集成电路制造工艺》课程教学实践探讨
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赤峰学院学报（自然科学版） 2013年 第15期29卷 200-201页
作者： 张新安 成强 河南大学物理与电子学院 河南开封475004
本文针对《集成电路制造工艺》课程的理论教学和实验教学进行了探讨.介绍了该课程核心教学内容的选取、课堂教学方式和实践性教学的改革与探索.提出了利用科研实验平台为本科生开设基本工艺实践的教学方式,以激发学生的学习兴趣,培养动... 详细信息
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高职院校集成电路制造工艺原理课程的教学探索
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高师理科学刊 2017年 第6期37卷 76-79,83页
作者： 王聪 杨舰 汕尾职业技术学院海洋工程系 广东汕尾516600 广东技术师范学院电子与信息学院 广东广州510665
集成电路制造工艺原理是一门涉及知识面广,教学内容信息量大,综合性和实践性都较强的课程.该课程在高职院校教学中普遍面临着教学资源匮乏,师资力量不足,教学模式刻板,实践教学难以开展等问题.为提高该课程的教学质量,从优化教学内容,... 详细信息
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浅谈“集成电路制造工艺”的课程建设和教学实践
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常州工学院学报 2010年 第4期23卷 94-96页
作者： 邵春声 常州工学院电子信息与电气工程学院 江苏常州213002
首先介绍了"集成电路制造工艺"课程建设的指导思想,然后阐述了课程建设的内容和实施情况,最后对课程建设的效果进行了简要的分析和总结。通过三届本专业学生的教学实践,收到了较好的效果。
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集成电路制造工艺课程中的微课教学
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学园 2014年 第32期7卷 86-86页
作者： 黄玮 张海磊 江苏信息职业技术学院
在信息化程度不断提高的当今社会,微课这种新型教学资源开始崭露头角并越来越多地被运用在日常教学中。本文在介绍了微课的概念特点的基础上,具体说明了其在集成电路制造工艺课程中的应用及取得的效果,以期对微课在微电子专业其他课程... 详细信息
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集成电路制造工艺探析
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新课程(中) 2012年 第3期 81-81页
作者： 孟祥忠 大连职业技术学院
众所周知,大多数半导体流程都发生在硅片顶层的几微米以内。这一有源区对应于工艺流程的前端工艺。所有硅上方的材料都是互联芯片上各个器件所需的分层结构的一部分。为了增加多层金属及绝缘层,工艺流程要求硅片在不同工艺步骤中循环。... 详细信息
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浅谈高职院校“集成电路制造工艺”课程教学改革
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网友世界 2014年 第11期 204-204页
作者： 张海磊 孙萍 刘锡锋 江苏信息职业技术学院
本文主要根据高职院校学生的特点，结合《集成电路制造工艺》课程的教学实际，在课程的教学内容、教学方法和教学手段等方面提出了一些改革方法，以激发学生的学习兴趣、提高教学质量。
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我国最新一代集成电路制造工艺研发取得突破性进展
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纳米科技 2012年 第6期9卷 89-89页
中国科学院微电子研究所集成电路先导工艺研发中心在22纳米技术代集成电路关键技术研发上取得突破性进展。掌握这种最先进的集成电路制造工艺将有利于提升我国自主生产制造更加质优价廉的集成电路产品的能力。采用22纳米集成电路技术可... 详细信息
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高职《集成电路制造工艺》课程“教学做”一体化的探索与实践
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商 2013年 第20期 373-373页
作者： 刘新 重庆城市管理职业学院
引言微电子产业在我国不断的发展壮大,微电子企业对微电子技术人才的需求在逐年增加,高技能型微电子技术人才的缺乏成为制约微电子制造企业发展的瓶颈之一。我校微电子技术专业在"校企共培、角色渐变"的双主体人才培养模式下,不断深化... 详细信息
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