检索结果-南通市图书馆

光子学报 2022年第5期51卷 46-59页

作者：齐人铎翟彦芬张巍(指导) 黄翊东清华大学电子工程系量子信息前沿科学中心北京市未来芯片技术高精尖创新中心北京信息科学与技术国家研究中心北京100084 奥地利半导体实验室 A 9524 VillachAustria 北京量子信息科学研究院北京100193

硫化物玻璃是发展非线性集成光学器件的良好材料,特殊的理化特性使得硫化物玻璃集成光学波导的制备成为研究的难点。对硫化物玻璃波导的制备工艺进行了综述,重点介绍利用硫化物玻璃在熔融状态下流动性好的特点,采用热熔融自回流方法制... 详细信息

硫化物玻璃是发展非线性集成光学器件的良好材料,特殊的理化特性使得硫化物玻璃集成光学波导的制备成为研究的难点。对硫化物玻璃波导的制备工艺进行了综述,重点介绍利用硫化物玻璃在熔融状态下流动性好的特点,采用热熔融自回流方法制备硫化物玻璃波导的工艺。该方法避免了对硫化物玻璃薄膜完整性的破坏,以及光刻胶显影液对硫化物玻璃材料的腐蚀作用,可以得到高质量的具有小模场面积的倒脊型硫化物玻璃波导。实验测试表明,采用热熔融自回流方法制备的硫化物玻璃波导具有良好的三阶非线性光学特性和受激布里渊散射特性。最后,展望了采用该方法发展硫化物玻璃非线性集成光学器件及其片上系统的研究方向和前景。

关键词：硫化物玻璃非线性光学器件集成光学波导三阶光学非线性受激布里渊散射

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