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主题

  • 1 篇 工艺误差
  • 1 篇 陀螺电学模型
  • 1 篇 cmos-mems体硅陀螺...
  • 1 篇 系统仿真

机构

  • 1 篇 北京大学

作者

  • 1 篇 闫桂珍
  • 1 篇 钱梁
  • 1 篇 杨振川
  • 1 篇 王佳

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=陀螺电学模型"
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CMOS-MEMS体硅集成陀螺的系统仿真
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传感技术学报 2008年 第4期21卷 563-566页
作者： 王佳 钱梁 杨振川 闫桂珍 北京大学微电子学研究院微米/纳米加工技术国家级重点实验室 北京100871
体硅MEMS和CMOS电路的单片集成技术是提高传感器性能的有效途径,但是集成技术会对陀螺的设计和CMOS电路的设计提出更高的要求。通过建立CMOS-MEMS体硅陀螺的等效电学模型,实现了对CMOS-MEMS体硅陀螺的系统级仿真。通过系统仿真,陀螺的... 详细信息
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