检索结果-南通市图书馆

过滤式阴极电弧沉积类金刚石薄膜的碳弧稳定性研究

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中国机械工程 1999年第11期10卷 1309-1311页

作者：朱纪军左敦稳王珉东南大学南京航空航天大学

介绍自行研制的一套过滤式阴极电弧沉积设备，并以石墨作为靶材进行类金刚石薄膜的沉积研究。碳弧本身的惰性限制了电弧的稳定性。电弧电压、磁场等对电弧的稳定性有很大的作用。试验得到表面光滑的类金刚石薄膜。

关键词：类金刚石薄膜阴极电弧沉积碳弧稳定性

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阴极电弧沉积多元合金膜层的织构及其形成

真空科学与技术 1996年第3期16卷 151-154页

作者：王社管白新德范毓殿王葆初清华大学材料系北京100084 北京长城钛金集团公司北京100080

采用阴极电弧沉积方法，制备了与靶材成分基本相同的多元合金Inconel625膜层[1]。用XRD，SEM，TEM研究了不同入射角下所获膜层中的织构分布及其成因。

关键词：阴极电弧沉积合金织构多元合金薄膜

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阴极电弧沉积TiN薄膜研究

真空科学与技术 1992年第5期12卷 403-407页

作者：谢致薇罗广南袁镇海戴达煌广州有色金属研究院材料室 510651

对真空阴极电弧沉积TiN装饰膜的沉积工艺和膜层性能的关系进行了研究。结果表明:适当选择N_2分压和负偏压对于改善基体表面离子轰击清洗效果、减少液滴分布、保证膜层颜色和提高膜层耐蚀性至关重要。另外,X射线织构分析表明:(220)织构... 详细信息

对真空阴极电弧沉积TiN装饰膜的沉积工艺和膜层性能的关系进行了研究。结果表明:适当选择N_2分压和负偏压对于改善基体表面离子轰击清洗效果、减少液滴分布、保证膜层颜色和提高膜层耐蚀性至关重要。另外,X射线织构分析表明:(220)织构随负偏压加大而增加,而(111)织构则随N_2分压增大而增加,这可由离子轰击诱导织构效应解释。

关键词：薄膜氮化钛阴极电弧沉积真空

阴极电弧沉积类金刚石膜在电声中的应用——高保真DLC/Ti高音扬声器振膜的研发和生产

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广东有色金属学报 2005年第1期15卷 26-29页

作者：袁镇海林松盛侯惠君朱霞高李似聪广州有色金属研究院材料表面工程技术研究开发中心广东广州510651

阐述高保真类金刚石/钛高音振膜的研发和生产.在制备品质及外观兼优的纯钛振膜的基础上,利用阴极电弧沉积技术在钛膜上沉积类金刚石(DLC)膜层.结果显示各项物理性能及主观听感明显改善,并实现了批量生产,进入市场.

关键词：阴极电弧沉积高保真高音扬声器类金刚石膜振膜研发 DLC Ti 应用电声物理性能沉积技术批量生产钛膜

真空阴极电弧沉积 TiN 装饰膜工艺与应用研究

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广东有色金属学报 1992年第2期2卷 133-139页

作者：袁镇海戴达煌罗广南谢致薇广州有色金属研究院广州510651

本文研究了真空阴极电弧沉积 TiN 装饰膜的工艺及其应用.利用 X 射线衍射、扫描电镜等方法,分析了膜层性能与沉积工艺之间的关系,结果表明:(1)适当增大气氛压力,可减少 Ti 液滴,从而提高了膜层的显微硬度和耐腐蚀性能;(2)膜层颜色与负... 详细信息

本文研究了真空阴极电弧沉积 TiN 装饰膜的工艺及其应用.利用 X 射线衍射、扫描电镜等方法,分析了膜层性能与沉积工艺之间的关系,结果表明:(1)适当增大气氛压力,可减少 Ti 液滴,从而提高了膜层的显微硬度和耐腐蚀性能;(2)膜层颜色与负偏压和氮分压有关.本文报导了工艺参数对膜层织构和品格畸变的影响.本文还对表壳、表带、餐具.陶瓷制品仿金镀等应用问题进行了讨论.

关键词：阴极电弧沉积氮化钛装饰膜

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过滤式阴极电弧沉积类金刚石薄膜的性能分析

表面技术 1998年第5期27卷 14-16页

作者：朱纪军左敦稳王珉南京航空航天大学机电工程学院

成功地研制了一套过滤式阴极电弧沉积设备,并利用该设备成功获得了类金刚石薄膜.类金刚石薄膜的扫描电镜分析表明:获得的薄膜在硅基片上是光滑和致密的,在Ti合金基片上有裂纹,高速钢基片上有微孔.原子力显微镜分析表明:膜层的表面粗糙... 详细信息

成功地研制了一套过滤式阴极电弧沉积设备,并利用该设备成功获得了类金刚石薄膜.类金刚石薄膜的扫描电镜分析表明:获得的薄膜在硅基片上是光滑和致密的,在Ti合金基片上有裂纹,高速钢基片上有微孔.原子力显微镜分析表明:膜层的表面粗糙度与沉积参数密切相关.喇曼光谱研究表明,这种薄膜是典型的无氢类金刚石薄膜,喇曼光谱的高斯分解表明:随着偏压的变化,D线和G线的位置μ_D、μ_C向低频移动,半高宽σ_D减小.

关键词：类金刚石薄膜阴极电弧沉积性能金属镀膜