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  • 1 篇 工学
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主题

  • 1 篇 石墨烯
  • 1 篇 真空流导元件
  • 1 篇 阳极氧化多孔氧化...
  • 1 篇 微纳通道
  • 1 篇 分子流

机构

  • 1 篇 合肥工业大学

作者

  • 1 篇 林文豫
  • 1 篇 王旭迪

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=阳极氧化多孔氧化铝"
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极小流导分子流真空流导元件研究进展
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真空与低温 2022年 第6期28卷 720-732页
作者： 林文豫 王旭迪 合肥工业大学 合肥230009
作为真空计量关键器件,真空流导元件在真空检漏及相关测量领域中发挥着重要的作用。在众多类型的流导元件中,分子流流导元件因其流导特性受到广泛的关注。概述了几种极小流导分子流真空流导元件的研究进展,包括阳极氧化多孔氧化铝、硅... 详细信息
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