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文献类型

  • 1 篇 期刊文献

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  • 1 篇 电子文献
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日期分布

学科分类号

  • 1 篇 工学
    • 1 篇 材料科学与工程(可...

主题

  • 1 篇 低加速电压
  • 1 篇 场发射扫描电镜
  • 1 篇 复合物镜
  • 1 篇 镜筒内探测器

机构

  • 1 篇 华南理工大学
  • 1 篇 卡尔蔡司管理有限...
  • 1 篇 哈尔滨工业大学

作者

  • 1 篇 张青
  • 1 篇 陈双文
  • 1 篇 马清
  • 1 篇 孙千
  • 1 篇 黄梦诗
  • 1 篇 高尚

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=镜筒内探测器"
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排序:
热场发射扫描电镜中的复合物镜和镜筒探测系统
收藏 引用
测试技术学报 2023年 第5期37卷 400-407页
作者: 高尚 马清 孙千 黄梦诗 陈双文 张青 哈尔滨工业大学(深圳)材料科学与工程学院 广东深圳518055 哈尔滨工业大学(深圳)实验与创新实践教育中心 广东深圳518055 华南理工大学材料科学与工程学院 广东广州510640 卡尔蔡司(上海)管理有限公司 广东广州510623
为了解释镜筒内探测器对信号发射角衬度反映的依赖,借助光镜像差类比方法解释物镜和探测系统协调工作以探测信号的原理,最后分析了两种当前使用复合物镜的探测系统。以上研究表明,在当代热场发射扫描电镜中,借助物镜的磁场和电场,物镜... 详细信息
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