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学科分类号

  • 1 篇 工学
    • 1 篇 材料科学与工程（可...
    • 1 篇 电子科学与技术（可...

主题

  • 1 篇 半导体
  • 1 篇 固相外延生长
  • 1 篇 无定形层
  • 1 篇 镍注入

机构

  • 1 篇 中国科学院上海原...

作者

  • 1 篇 朱德彰
  • 1 篇 朱福英
  • 1 篇 曹德新
  • 1 篇 曹建清

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=镍注入"
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镍增进无定形硅低温固相外延生长
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核技术 1997年 第2期20卷 79-82页
作者： 曹德新 朱德彰 朱福英 曹建清 中国科学院上海原子核研究所
离子注入形成的无定形硅在可形成硅化物杂质镍作用下，促使无定形层硅在低温（４３０℃）时发生了固相外延生长。注入杂质镍浓度为１×１０１２－２．５×１０１７Ｎｉ／ｃｍ２。卢瑟福背散射和沟道（ＲＢＳ－Ｃ）测量表明，６个量级... 详细信息
来源： 维普期刊数据库 维普期刊数据库 同方期刊数据库 同方期刊数据库 评论
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