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日期分布

学科分类号

  • 2 篇 工学
    • 2 篇 电气工程

主题

  • 2 篇 锂离子传导率
  • 2 篇 溅射沉积
  • 2 篇 锂磷氧氮薄膜
  • 2 篇 电子回旋共振

机构

  • 2 篇 复旦大学
  • 2 篇 中国科学院等离子...

作者

  • 2 篇 李驰麟
  • 2 篇 傅正文
  • 2 篇 任兆杏
  • 2 篇 舒兴胜
  • 1 篇 秦启宗
  • 1 篇 薛明喆
  • 1 篇 刘文元

语言

  • 2 篇 中文
检索条件"主题词=锂磷氧氮薄膜"
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电子回旋共振等离子体辅助溅射沉积锂磷氧氮薄膜
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无机材料学报 2006年 第1期21卷 193-198页
作者： 李驰麟 傅正文 舒兴胜 任兆杏 复旦大学化学系激光化学研究所上海市分子催化和功能材料重点实验室 上海200433 中国科学院等离子体物理研究所 合肥230031
用电子回旋共振(ECR)等离子体辅助射频溅射沉积法制备快锂离子传导的锂磷氧氮 (LiPON)薄膜． X射线光电子能谱、扫描电子显微镜、紫外可见吸收光谱等手段表征了在不同ECR功率辅助下沉积的薄膜．结果显示,ECR等离子体对磁控溅射沉积薄膜... 详细信息
来源： 维普期刊数据库 维普期刊数据库 同方期刊数据库 同方期刊数据库 评论
电子回旋共振等离子体辅助溅射沉积锂磷氧氮薄膜的研
电子回旋共振等离子体辅助溅射沉积锂磷氧氮薄膜的研
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引用
第十二届中国固态离子学学术会议
作者： 李驰麟 傅正文 刘文元 薛明喆 秦启宗 舒兴胜 任兆杏 复旦大学化学系激光化学研究所 中国科学院等离子体物理研究所
本文用电子回旋共振(ECR)等离子体辅助射频溅射沉积法制备快锂离子传导的锂磷氧氮薄膜。X射线光电子能谱、扫描电子显微镜等手段表征了在不同ECR功率辅助下的溅射沉积薄膜,结果显示ECR等离子体对磁控溅射沉积薄膜的生长有明显的影响,能... 详细信息
来源： cnki会议 评论
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