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文献类型

  • 1 篇 期刊文献

馆藏范围

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日期分布

学科分类号

  • 1 篇 工学
    • 1 篇 材料科学与工程（可...

主题

  • 1 篇 掺杂
  • 1 篇 热稳定性
  • 1 篇 电阻率
  • 1 篇 铜互连薄膜
  • 1 篇 扩散阻挡层

机构

  • 1 篇 广东省科学院新材...
  • 1 篇 中国地质大学

作者

  • 1 篇 苏一凡
  • 1 篇 付志强
  • 1 篇 尹振东
  • 1 篇 林松盛

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=铜互连薄膜"
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Zr、Cr掺杂对铜互连薄膜结构及性能的影响
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稀有金属材料与工程 2024年 第9期53卷 2535-2545页
作者： 尹振东 林松盛 付志强 苏一凡 广东省科学院新材料研究所现代材料表面工程技术国家工程实验室广东省现代表面工程技术重点实验室 广东广州510651 中国地质大学(北京)工程技术学院 北京100083
研究了Zr和Cr元素掺杂对Cu互连薄膜的结构及性能的影响。利用直流磁控溅射技术在SiO_(2)/Si衬底上沉积了Cu、Cu(Zr)、Cu(Cr)、Cu(ZrCr)4种薄膜,并在温度400~800℃下对薄膜真空退火1h。通过SEM、XRD和四探针法对不同薄膜的表面形貌、微... 详细信息
来源： 维普期刊数据库 维普期刊数据库 同方期刊数据库 同方期刊数据库 评论
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