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  • 1 篇 理学
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  • 1 篇 工学
    • 1 篇 化学工程与技术

主题

  • 1 篇 化学刻蚀法
  • 1 篇 气体传感器
  • 1 篇 电化学腐蚀法
  • 1 篇 多孔硅
  • 1 篇 铂助腐蚀法

机构

  • 1 篇 渤海大学

作者

  • 1 篇 张成立
  • 1 篇 张皓

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=铂助腐蚀法"
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用于气体传感器的多孔硅的制备方法研究
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化学通报 2010年 第6期73卷 568-572页
作者： 张皓 张成立 渤海大学化学化工学院 辽宁锦州121000
分别采用化学刻蚀法、电化学腐蚀法和铂助腐蚀法在室温下制备了应用于气体传感器的纳米级多孔硅,并且对其表面形貌及厚度进行了表征。结果表明,3种方法制备的多孔硅孔径从5～100nm不等,并且3种制备方法各具优缺点,可根据实际需要来选择... 详细信息
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