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主题

  • 1 篇 二硅化钼(mosi2)
  • 1 篇 钼团簇束
  • 1 篇 碰撞沉积
  • 1 篇 单晶硅

机构

  • 1 篇 兰州大学
  • 1 篇 中国科学院上海应...

作者

  • 1 篇 包良满
  • 1 篇 朱德彰
  • 1 篇 丁印锋
  • 1 篇 丁宝卫
  • 1 篇 李公平
  • 1 篇 张小东
  • 1 篇 刘正民
  • 1 篇 张志滨

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=钼团簇束"
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载能钼团簇束与单晶硅碰撞室温下合成二硅化钼
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引用
核技术 2005年 第3期28卷 221-223页
作者： 李公平 张小东 丁宝卫 丁印锋 刘正民 朱德彰 张志滨 包良满 兰州大学物理科学与技术学院现代物理系 兰州730000 中国科学院上海应用物理研究所 上海201800
用一种新型磁控溅射气体凝聚团簇源产生 Mon 团簇束,当团簇束分别在偏压为 0、1、3、5、10 kV 的–电场中加速后,沉积在室温下的 P 型 Si(111)衬底上,获得 Mo/Si(111)薄膜样品。用 XRD 分析表明,在室温下,偏压≤5 kV 团簇束沉积和常规... 详细信息
来源： 维普期刊数据库 维普期刊数据库 同方期刊数据库 同方期刊数据库 评论
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