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  • 1 篇 期刊文献

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学科分类号

  • 1 篇 工学
    • 1 篇 材料科学与工程（可...
    • 1 篇 电子科学与技术（可...

主题

  • 1 篇 化学镀
  • 1 篇 铜互连线
  • 1 篇 钴互连线
  • 1 篇 超级化学镀钴
  • 1 篇 超级化学镀铜

机构

  • 1 篇 陕西师范大学

作者

  • 1 篇 李冰冰
  • 1 篇 王增林
  • 1 篇 马艺
  • 1 篇 沈钰

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=钴互连线"
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化学镀钴和超级化学镀填充的研究进展(英文)
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电化学 2022年 第7期28卷 47-56页
作者： 沈钰 李冰冰 马艺 王增林 陕西师范大学化学化工学院 陕西西安710062
随着半导体集成度的不断提高,铜互连线的电阻率迅速提高。当互连线宽度接近7 nm时,铜互连线的电阻率与钴接近。IBM和美国半导体公司(ASE)已经使用金属钴取代铜作为下一代互连线材料。然而,钴种子层的形成和超级电镀钴填充7 nm微孔的技... 详细信息
来源： 维普期刊数据库 维普期刊数据库 评论
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