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针孔缺陷对集成电路功能成品率影响分析与仿真

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Journal of Semiconductors 2001年第1期22卷 102-106页

作者：马佩军郝跃刘红侠西安电子科技大学微电子所西安710071

对集成电路针孔缺陷引起功能成品率下降的模型进行了研究 ,给出了分析和仿真针孔功能成品率的两种计算方法—— Monte- Carlo方法和关键面积提取方法。

关键词：集成电路仿真针孔缺陷功能成品率

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WBE技术研究氯离子对存在针孔缺陷的涂层下金属腐蚀行为的影响

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腐蚀与防护 2019年第1期40卷 23-27,32页

作者：初晓丁清苗王宇君中国民航大学天津300300 北京中航油工程建设有限公司北京100012

采用阵列电极(即丝束电极,WBE)技术研究了氯离子对存在针孔缺陷的涂层下金属腐蚀行为的影响。结果表明:WBE技术可以对材料表面电流进行表征,在涂层存在针孔缺陷条件下,腐蚀原电池阳极区率先出现在针孔缺陷处,阴极区在其周围逐渐扩展。... 详细信息

采用阵列电极(即丝束电极,WBE)技术研究了氯离子对存在针孔缺陷的涂层下金属腐蚀行为的影响。结果表明:WBE技术可以对材料表面电流进行表征,在涂层存在针孔缺陷条件下,腐蚀原电池阳极区率先出现在针孔缺陷处,阴极区在其周围逐渐扩展。在蒸馏水中,由于锈层覆盖,腐蚀出现了停滞的现象。随着溶液中氯离子浓度的升高,腐蚀停滞现象消除,并且腐蚀速率加快,阴极迁移速率加快。针孔缺陷条件下,阳极区会从缺陷位置向破损位置周围区域移动,而破损位置可能会随之出现阴极电流。

关键词：阵列电极技术氯离子针孔缺陷涂层腐蚀行为

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M2高速钢Φ183mm锻坯针孔缺陷分析和工艺改进

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特殊钢 2016年第1期37卷 50-53页

作者：尤晓东郝世风邵青立何宁河冶科技股份有限公司石家庄052165

M2高速钢（/%：0.86C,0.39Si,0.32Mn,0.015P,0.006S,6.00W,4.00Cr,4.80Mo,1.85V）Φ183 mm圆坯由2.0 t电渣锭（Φ~500 mm）锻制而成。M2钢锻坯探伤缺陷率为33.33%~69.23%,主要为中心部位针孔缺陷。分析表明,针孔缺陷是钢锭偏析部位在开坯加热和锻制过程中产生过热形成的。通过将电渣重熔电流由8 000→6 800 A降至7 000→6 000 A,降低电渣重熔速度,开锻温度由1070~1090℃降至1030~1060℃,终锻温度由960~980℃C降至900~950℃以降低中间坯的中心温度等工艺措施,使M2钢Φ183 mm锻坯的探伤缺陷率由50%降低到5.71%。

关键词： M2高速钢 2t电渣锭 Φ183mm锻坯偏析过热针孔缺陷

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