检索结果-南通市图书馆

北京师范大学学报（自然科学版） 2002年第4期38卷 478-481页

作者：张旭张通和易仲珍张荟星王广甫北京师范大学射线束技术与材料改性教育部重点实验室低能核物理研究所北京市辐射中心北京师范大学分析测试中心

采用磁过滤MEVVA沉积技术以石墨为阴极在几种衬底表面 (单晶硅、不锈钢和工具钢等 )上制备高质量类金刚石 (DLC)薄膜。实验结果表明 ,沉积能量对薄膜的sp3键含量的影响为先随能量的增加而增加 ,达到最大值后 ,再增加沉积能量含量反而下... 详细信息

采用磁过滤MEVVA沉积技术以石墨为阴极在几种衬底表面 (单晶硅、不锈钢和工具钢等 )上制备高质量类金刚石 (DLC)薄膜。实验结果表明 ,沉积能量对薄膜的sp3键含量的影响为先随能量的增加而增加 ,达到最大值后 ,再增加沉积能量含量反而下降。硬度测试结果表明 ,非晶金刚石薄膜具有极高的硬度 ,为 70～ 78GPa ,远远高于衬底材料的硬度值 .对非晶金刚石薄膜的摩擦性能试验结果表明 ,非晶金刚石薄膜的摩擦因数为 0 .16～ 0 .2 ,大大低于衬底材料 .

关键词：磁过滤 MEVVA源制备 DLC膜类金刚石膜金属蒸汽真空弧沉积非晶金刚石薄膜耐磨损性能

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