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文献类型

  • 1 篇 期刊文献

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日期分布

学科分类号

  • 1 篇 理学
    • 1 篇 物理学

主题

  • 1 篇 微波谐振腔
  • 1 篇 数值模拟
  • 1 篇 电场分布
  • 1 篇 金刚石薄膜沉积

机构

  • 1 篇 北京科技大学

作者

  • 1 篇 唐伟忠
  • 1 篇 张思凯
  • 1 篇 于盛旺
  • 1 篇 李晓静
  • 1 篇 吕反修

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=金刚石薄膜沉积"
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微波等离子化学气相沉积金刚石膜新型微波谐振腔设计
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引用
功能材料 2010年 第11期41卷 1963-1965,1969页
作者： 李晓静 张思凯 于盛旺 唐伟忠 吕反修 北京科技大学材料科学与工程学院 北京100083
提出新型微波谐振腔用于化学气相沉积金刚石薄膜,腔体有效体积可以调节,采用环形介质窗口,置于沉积基台的下方,允许产生较大并且温度较高的等离子体。同轴内导体与沉积台相连接,微波从谐振腔底端传输经同轴导体耦合进入腔体。采用有限... 详细信息
来源： 维普期刊数据库 维普期刊数据库 同方期刊数据库 同方期刊数据库 评论
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