Power MEMS是近几年在MEMS技术基础上发展起来的一种微动力单元,它直接进行能量转换(燃料化学能→电能),消除了电能传输成本和储存成本,用其替代现在的便携电池(电源),前景非常看好。由于气体轴承不仅具有低摩擦、工作阻力小、适应高转...
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Power MEMS是近几年在MEMS技术基础上发展起来的一种微动力单元,它直接进行能量转换(燃料化学能→电能),消除了电能传输成本和储存成本,用其替代现在的便携电池(电源),前景非常看好。由于气体轴承不仅具有低摩擦、工作阻力小、适应高转速等特点,而且还具有无污染、结构简单等优势,在PowerMEMS中得以采用。PowerMEMS微气体轴承-转子系统中,转子转速较高,每分钟几十万转甚至上百万转,同时轴承间隙较小,只有十几微米甚至几微米,根据稀薄气体动力学理论,此时系统气固界面速度发生滑移,引起润滑气膜的速度
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