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主题

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  • 2 篇 微型部件
  • 2 篇 激光诱导
  • 2 篇 微细加工
  • 1 篇 纳米间隙电极
  • 1 篇 图案化
  • 1 篇 镍双电极
  • 1 篇 快速成形
  • 1 篇 光刻
  • 1 篇 rp技术
  • 1 篇 电子束直写曝光
  • 1 篇 电子束刻蚀
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机构

  • 1 篇 东南大学
  • 1 篇 兰州物理研究所表...
  • 1 篇 上海交通大学
  • 1 篇 中科院兰州化学物...
  • 1 篇 国家模具cad工程研...

作者

  • 2 篇 赵毅
  • 2 篇 刘立兵
  • 2 篇 李明辉
  • 2 篇 潘伟
  • 1 篇 廖建辉
  • 1 篇 顾宁
  • 1 篇 陈学康
  • 1 篇 刘建喜
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  • 1 篇 黄岚
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  • 4 篇 中文
检索条件"主题词=选择性化学沉积"
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基于RP技术的激光诱导选择性化学沉积微细加工技术的研究
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机械工程学报 2003年 第1期39卷 137-142页
作者： 刘立兵 赵毅 李明辉 潘伟 上海交通大学国家模具CAD工程研究中心 上海200030
在介绍快速成形技术以及微机电系统与微细加工技术的基础之上,对比分析了一些基于快速成形技术微细加工方法的优缺点及其最新研究成果。对于激光诱导选择性化学液相沉积快速成形技术的研究,首先从整个的系统原理到工艺流程进行详细地论... 详细信息
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激光诱导化学沉积三维加工技术
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应用激光 2002年 第2期22卷 160-164页
作者： 刘立兵 赵毅 李明辉 潘伟 国家模具CAD工程研究中心 上海交通大学上海200030
本文提出了激光诱导化学液相沉积快速成型技术(LCLD＆RP)。CO_2激光经扩束,聚焦到浸入化学镀液(室温)中的衬底上,使得衬底局域升温,并发生化学反应沉积出固体物质。通过激光束逐点层扫描并沉积出所想要的三维形状实体。并就激光化学液... 详细信息
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低能电子束制备硅基纳米薄膜微结构研究
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真空 2007年 第6期44卷 34-38页
作者： 陈炯枢 陈学康 刘相 刘建喜 兰州物理研究所表面工程技术国家级重点实验室 甘肃兰州730000 中科院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室 甘肃兰州730000
本文提出了一种新颖的结合自组装技术和电子束直写曝光以及选择性化学沉积制备图案化薄膜方法。利用X-射线光电子能谱(XPS),扫描电子显微镜(SEM),透射电子显微镜(TEM)紫外可见光谱仪(Analytic Jena AG)进行了表征。结果表明该方法取得... 详细信息
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纳米间隙电极的加工研究进展
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微细加工技术 2003年 第4期 1-8,26页
作者： 顾宁 黄岚 徐丽娜 王孟 廖建辉 东南大学纳米科学与技术研究中心分子与生物分子电子学教育部重点实验室 南京210096
分类介绍了国内外加工纳米间隙电极的主要研究进展,并特别介绍了近期发展起来的一般光刻技术结合选择性化学沉积方法制备纳米间隙电极的研究结果,对今后的相关研究问题进行了讨论。采用选择性化学沉积技术制备镍双电极的间隙已可小于10... 详细信息
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