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  • 1 篇 期刊文献

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学科分类号

  • 1 篇 理学
    • 1 篇 物理学
  • 1 篇 工学
    • 1 篇 核科学与技术

主题

  • 1 篇 等离子体源
  • 1 篇 连续流动力学
  • 1 篇 等离子体
  • 1 篇 数值模拟
  • 1 篇 总体模型
  • 1 篇 等离子体工艺

机构

  • 1 篇 西安电子科技大学

作者

  • 1 篇 杨银堂
  • 1 篇 李爱军

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=连续流动力学"
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高密度等离子体工艺总体模型初探
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核聚变与等离子体物理 2001年 第1期21卷 7-12页
作者： 杨银堂 李爱军 西安电子科技大学微电子所 西安710071
介绍了与高密度等离子体工艺相关的模型和数值模拟方法 ,即连续流和动力学方法。在漂流 扩散方程的连续流模型和单元粒子 蒙特卡罗碰撞动力学模型的基础上 ,提出了一个等离子体工艺模型。讨论了对等离子体鞘层、等离子体刻蚀和淀积过... 详细信息
来源： 维普期刊数据库 维普期刊数据库 同方期刊数据库 同方期刊数据库 评论
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