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新型分子增压泵的性能测试

真空 2008年第4期45卷 32-34页

作者：蒙峻杨晓天张素平储继国中国科学院近代物理研究所深圳大学广东深圳518060

本文详细介绍了新型分子增压泵的测试方法,对分子增压泵的极限真空、返油率、抽速及工作频率等性能进行了测试分析。测试结果表明,该泵可以在过渡流段替代罗茨泵来获得清洁真空系统。在兰州重离子加速器TR2终端真空差分系统前两级选用... 详细信息

本文详细介绍了新型分子增压泵的测试方法,对分子增压泵的极限真空、返油率、抽速及工作频率等性能进行了测试分析。测试结果表明,该泵可以在过渡流段替代罗茨泵来获得清洁真空系统。在兰州重离子加速器TR2终端真空差分系统前两级选用了新型分子增压泵,并根据测试结果确定其工作频率。最后给出了在TR2终端真空差分系统使用分子增压泵后的实验结果,表明该泵能够满足清洁、大流量差分真空系统的使用要求。

关键词：清洁、大流量差分系统新型分子/增压泵返油率残余气体分析抽速

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第十六讲真空系统的操作与维护

真空 2009年第4期46卷 86-88页

作者：张以忱东北大学辽宁沈阳110004

（上接2009年第3期88页）4扩散泵抽气系统4．1扩散泵抽气系统组成图36为一台经典的低返油率小型扩散泵高真空抽气系统的示意图。抽气系统主要由扩散泵、冷阱、闸板阀和机械泵等的结合组成。图中还给出了一些辅助元件，但是并不是每套真... 详细信息

（上接2009年第3期88页）4扩散泵抽气系统4．1扩散泵抽气系统组成图36为一台经典的低返油率小型扩散泵高真空抽气系统的示意图。抽气系统主要由扩散泵、冷阱、闸板阀和机械泵等的结合组成。图中还给出了一些辅助元件，但是并不是每套真空系统都需要有这些辅助件。如在返油率要求不高的真空系统中，就不需要配置液氮冷阱，只需要用一个水冷障板就可以。而在对返油率要求很严的应用中，则需要在系统中配置一个液氮冷阱，还可能再用一个局部水冷障板，液氮冷阱主要用于捕集水蒸气和泵工作液中的轻馏分返流。

关键词：真空系统真空抽气系统维护操作扩散泵返油率辅助元件冷阱

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新型K-800A高真空油扩散泵的研制

真空 2005年第6期42卷 16-18页

作者：徐玉江王莉许艳巧兰州真空设备有限责任公司甘肃兰州730050

介绍了新研制的高真空油扩散泵在拓宽抽气速率范围、提高临界前级压力、降低返油率方面的创新设计。给出了新研制的K-800A高真空油扩散泵各项技术指标的实测结果。

关键词：油扩散泵抽气性能研制返油率

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油扩散泵的维修

真空 2004年第2期41卷 57-59页

作者：骆定祚深圳市深视达实业有限公司广东深圳518001

本文为《实用真空技术》一书的核心章节,作者认真总结了工人师傅的丰富维修经验,理论与实践相结合,对扩散泵的维修技术作了全面、系统、深入细致的论述,对读者有参考价值。

关键词：油扩散泵《实用真空技术》故障维修返油率临界出口压强加热功率

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从第七届国际真空展看扩散泵产品的变化

真空 2004年第4期41卷 30-32页

作者：徐成海王鑫勾颖东北大学机械工程与自动化学院辽宁沈阳110004 沈阳市产品质量监督检验所辽宁沈阳110021

评述现有国产扩散泵产品的进展情况 ,存在的不足之处 ,今后应努力改进的方向。讨论测量扩散泵返油率的几种方法。

关键词：扩散泵第七届国际真空展返油率石英晶体振荡器真空泵

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扩散泵微量返油实验装置的研究

真空 1995年第2期32卷 25-29页

作者：陈奇陈益林龚建华合肥工业大学

本文提出了应用石英晶体谐振天平技术测量返油率的新方法。通过理论分析和试验研究，证明这种方法可以推广应用。返油率在１０－３～１０－４ｍｇ／ｃｍ２·ｍｉｎ量级上进行了实际测量，取得了满意的效果。

关键词：石英晶返油率扩散泵

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油扩散泵结构对蒸汽射流场影响的数值研究

油扩散泵结构对蒸汽射流场影响的数值研究

作者：王瑞东北大学

学位级别：硕士

油扩散泵与其他种类真空泵相比,结构更为简单,无运动部件,没有振动与噪声,使用方便,寿命长,成本低,因此被广泛应用于各科学研究和工业生产领域中,如电子、冶金、化学、原子能等工业部门和空间技术等。扩散泵工作介质为扩散泵油,尽管在... 详细信息

油扩散泵与其他种类真空泵相比,结构更为简单,无运动部件,没有振动与噪声,使用方便,寿命长,成本低,因此被广泛应用于各科学研究和工业生产领域中,如电子、冶金、化学、原子能等工业部门和空间技术等。扩散泵工作介质为扩散泵油,尽管在结构上采取了一些措施,但扩散泵油向高真空一侧返流造成的油污染问题一直是制约扩散泵应用的主要原因。提高抽气性能、抽气稳定性、降低返油率是扩散泵需要解决的主要问题,其中,低返油率扩散泵是当前科研、生产单位研发的重点。扩散泵的返油与一级喷嘴形状、尺寸、多级串联喷嘴间距、挡油帽形状、尺寸、挡油环设置位置等因素有关,这些因素决定了扩散泵油蒸汽的射流状态和流场结构。通过流场结构分析可以更好地理解扩散泵的抽气和返油机理,通过射流场控制可以有效地减少返流。由于扩散泵经典理论难以准确描述和定量反映扩散泵油蒸汽射流流动特性,本文在分析扩散泵抽气机理的基础上,运用计算流体力学软件Ansys-workbench,以K800扩散泵为计算原型,对其内部蒸汽射流场进行了数值模拟,得到了第一级喷嘴结构、挡油环位置、挡油帽尺寸、串联喷嘴级间距对扩散泵射流场的影响结果,对理解扩散泵抽气机理、改进扩散泵抽气性能、减少返油率均具有一定的指导意义。数值模拟结果表明,喷嘴出口速度受喉部尺寸的影响,喷嘴出口速度随喉部间隙减小而增大,随喷嘴张角增大而增大;挡油帽过长或者过短都不利于扩散泵抽气,存在与射流场匹配的最佳挡油帽结构尺寸,此时返油率较低;挡油环的位置影响蒸汽射流流场分布及涡旋的形成,决定扩散泵的返油率,挡油环位置的正确设置对减少返油率起到至关重要的作用;一二级喷嘴间距、二三级喷嘴间距存在的最佳值,且串联两级喷嘴距离越大,油蒸汽冷凝效果越好,但喷嘴间距离过大又影响扩散泵结构的紧凑性,而距离过小又会影响扩散泵的正常工作,合理的级间距设计要兼顾抽气稳定性和结构紧凑性。

关键词：油扩散泵蒸汽射流数值模拟返油率挡油帽挡油环

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油扩散泵结构参数对射流形态影响的数值研究

油扩散泵结构参数对射流形态影响的数值研究

作者：任昱汶东北大学

学位级别：硕士

油扩散泵是获得高真空和超高真空环境的主要设备之一,广泛应用于机械、冶金、航天环模等科学研究和工程应用领域中。油扩散泵因其抽气速率大、可获得真空度高、结构简单、操作方便、无机械传动、无振动和噪音、使用寿命长等优点受到国... 详细信息

油扩散泵是获得高真空和超高真空环境的主要设备之一,广泛应用于机械、冶金、航天环模等科学研究和工程应用领域中。油扩散泵因其抽气速率大、可获得真空度高、结构简单、操作方便、无机械传动、无振动和噪音、使用寿命长等优点受到国内外用户的广泛认可和接受。但是泵的返油是其自身一种不可避免的固有属性,严重限制了其应用范围。因此,改善油扩散泵的抽气性能、探寻返油率规律一直以来都是油扩散泵研究者和使用者多年来着力解决的重要问题。油扩散泵内蒸汽射流形态和流场状态直接决定着其工作性能（抽气速率,返油率等）的优劣,所以通过计算流体力学（CFD）方法研究油扩散泵蒸汽射流形态和内部流场的流动规律,力图在深化理解油扩散泵抽气机理、改善抽气性能、优化泵体结构及降低返油率等方面为后续研究者提供一定的参考作用。本文是基于上应用述背景采用Fluent软件对油扩散泵的油蒸汽射流形态及内部流场状态进行数值模拟研究,文中主要研究内容包括:（1）研究了 K-400单级油扩散泵的一级喷嘴几何参数及其结构对射流和流场的影响,比较了不同喷嘴角度、不同喉部间隙及不同喷嘴结构下的流场状态差异。研究结果表明,采用55°角喷嘴、2.5mm喉部间隙和渐缩—喉部—渐扩式喷嘴结构为最优选择。（2）考虑到泵的返油问题,文中研究了三种不同结构的挡油帽并且讨论了最优裙部长度。模拟结果表明,以挡油帽与喷嘴同状且竖直向下延伸的结构为最佳,裙部长度-10mm为宜（以喷嘴底边为零基准线）。（3）研究了冷阱障板的防返油效果,分别选择在不同的安装数量、装配角度和障板结构下进行数值模拟。数值研究结果表明,当障板数量为3个时,选择人字形障板并且以55°角安装为最优准则。（4）对于K-400T凸腔油扩散泵,本文分别研究了两种结构及不同凸腔面积的泵内流场状态。数值模拟结果表明,当凸腔直径与泵口直径比值为1.1时的圆形凸腔泵结构为最优选择,按凸腔直径拓宽泵体后的内流场模拟结果也验证了这一结论。

关键词：油扩散泵数值模拟蒸汽射流流场状态返油率